特許
J-GLOBAL ID：201303027531410983
ナノインプリント用モールドの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 鈴木 三義
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-535522
特許番号：特許第5230846号
出願日： 2012年07月13日
要約：
【要約】 本発明は、アルミニウム基材の表面に複数の細孔からなる微細凹凸構造を有する陽極酸化アルミナが形成されたナノインプリント用モールドをm個(mは1以上の整数)製造する方法に関し、m個のアルミニウム基材のそれぞれについて、電解液中にてアルミニウム基材を陽極酸化する陽極酸化工程を1つ以上有し、前記陽極酸化工程のすべてにおいて、電解液中のアルミニウム濃度Xと、1個目のアルミニウム基材の1回目の陽極酸化工程の直前の電解液中のアルミニウム濃度X0との差(X-X0)が1000ppm以下である。
請求項（抜粋）：
【請求項1】 アルミニウム基材の表面に複数の細孔からなる微細凹凸構造を有する陽極酸化アルミナが形成されたナノインプリント用モールドをm個(ただし、mは1以上の整数である。)製造する方法であって、
m個のアルミニウム基材のそれぞれについて、電解液中にてアルミニウム基材を陽極酸化する陽極酸化工程を1つ以上有し、
前記陽極酸化工程のすべてにおいて、電解液中のアルミニウム濃度Xと、1個目のアルミニウム基材の1回目の陽極酸化工程の直前の電解液中のアルミニウム濃度X0との差(X-X0)が、1000ppm以下である、ナノインプリント用モールドの製造方法。
IPC (3件)：
B29C 59/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
, B29C 33/38 ( 200 6.01)
B29C 59/02 B
, H01L 21/30 502 D
, B29C 33/38
