特許
J-GLOBAL ID：201303027756418614
感光性樹脂組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
中山 亨
, 坂元 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-089090
公開番号（公開出願番号）：特開2013-242551
出願日： 2013年04月22日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
要約：
【課題】 従来の感光性樹脂組成物では、当該組成物から得られるパターンの硬度及びタック性が必ずしも満足できない場合があった。【解決手段】 (A)バインダー樹脂、(B)重合性化合物、(C)重合開始剤および開始助剤、および(D)溶剤を含む感光性樹脂組成物であり、(A)バインダー樹脂の重量平均分子量が8,000以上100,000以下、(C)重合開始剤および開始助剤が少なくともオキシム系化合物とアシルフォスフィンオキサイド系化合物とチオキサントン系化合物を含み、(D)溶剤が、溶解度パラメーターが8.0〜9.1(cal/cm3)1/2である溶剤を全溶剤中70質量%以上で99質量%以下含み、溶解度パラメーターが9.2〜11.0(cal/cm3)1/2である溶剤を全溶剤中1質量%以上30質量%以下含む感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)バインダー樹脂、(B)重合性化合物、(C)重合開始剤および開始助剤、および(D)溶剤を含む感光性樹脂組成物であり、(A)バインダー樹脂の重量平均分子量が8,000以上100,000以下であり、(C)重合開始剤もしくは開始助剤が少なくともオキシム系化合物、アシルフォスフィンオサイド系化合物、およびチオキサントン系化合物を含有し、(D)溶剤が、溶解度パラメーターが8.0〜9.1(cal/cm3)1/2である溶剤を全溶剤中70質量%以上で99質量%以下含み、溶解度パラメーターが9.2〜11.0(cal/cm3)1/2である溶剤を全溶剤中1質量%以上30質量%以下含む感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/004
, G03F 7/029
, G03F 7/031
, G02B 5/20
G03F7/004 501
, G03F7/029
, G03F7/031
, G03F7/004 505
, G02B5/20 101
2H125AC31
, 2H125AC36
, 2H125AC53
, 2H125AC54
, 2H125AC74
, 2H125AD06
, 2H125AD07
, 2H125AD15
, 2H125AE13P
, 2H125AM66P
, 2H125AM86P
, 2H125AN22P
, 2H125AN38P
, 2H125AN39P
, 2H125AN94P
, 2H125BA01P
, 2H125BA09P
, 2H125BA16P
, 2H125BA22P
, 2H125BA33P
, 2H125BA35P
, 2H125CA17
, 2H125CB05
, 2H125CC01
, 2H125CC13
, 2H125CD01P
, 2H125CD06P
, 2H125CD34
, 2H125CD36
, 2H125CD40
, 2H148BC57
, 2H148BC60
, 2H148BE03
, 2H148BE22
, 2H148BE26
, 2H148BF12
, 2H148BF14
, 2H148BF15
, 2H148BF16
, 2H148BG02
, 2H148BG06
, 2H148BG08
