被測定物の特性を測定する方法および測定装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人深見特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2010071988
公開番号（公開出願番号）：WO2011-077949
出願日： 2010年12月08日
公開日（公表日）： 2011年06月30日
要約：

本発明は、主面に垂直な方向に貫通した少なくとも2つの空隙部(11)を有する空隙配置構造体(1)に、被測定物を保持し、前記被測定物が保持された空隙配置構造体(1)に電磁波を照射して、前記空隙配置構造体(1)を透過した電磁波の周波数特性を検出することにより、被測定物の特性を測定する測定方法であって、前記空隙配置構造体(1)は、前記空隙部(11)が前記空隙配置構造体(1)の主面上の少なくとも一方向に周期的に配列された格子状構造を有し、前記周波数特性として、第1の周波数特性および第2の周波数特性が検出され、前記第1の周波数特性においてはディップ波形が出現し、前記第2の周波数特性においてはディップ波形が出現しないか、あるいは、第1の周波数特性におけるディップ波形の深さよりも小さい深さを有するディップ波形が出現し、前記第1の周波数特性と前記第2の周波数特性との関係に基づいて、被測定物の特性を測定することを特徴とする測定方法である。

請求項（抜粋）：

主面に垂直な方向に貫通した少なくとも2つの空隙部(11)を有する空隙配置構造体(1)に、被測定物を保持し、前記被測定物が保持された空隙配置構造体(1)に電磁波を照射して、前記空隙配置構造体(1)を透過した電磁波の周波数特性を検出することにより、被測定物の特性を測定する測定方法であって、前記空隙配置構造体(1)は、前記空隙部(11)が前記空隙配置構造体(1)の主面上の少なくとも一方向に周期的に配列された格子状構造を有し、前記周波数特性として、第1の周波数特性および第2の周波数特性が検出され、前記第1の周波数特性においてはディップ波形が出現し、前記第2の周波数特性においてはディップ波形が出現しないか、あるいは、第1の周波数特性におけるディップ波形の深さよりも小さい深さを有するディップ波形が出現し、前記第1の周波数特性と前記第2の周波数特性との関係に基づいて、被測定物の特性を測定することを特徴とする測定方法。

IPC (2件)：

G01N 21/35 , G01N 21/01

FI (2件)：

G01N21/35 Z , G01N21/01 B

Fターム (20件)：

2G059CC16 , 2G059CC17 , 2G059DD12 , 2G059DD13 , 2G059EE01 , 2G059EE05 , 2G059EE09 , 2G059EE12 , 2G059GG01 , 2G059GG03 , 2G059GG08 , 2G059HH01 , 2G059JJ05 , 2G059JJ18 , 2G059JJ19 , 2G059KK03 , 2G059KK09 , 2G059MM01 , 2G059MM12 , 2G059NN10

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