特許
J-GLOBAL ID：201303028060941912
スクライブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 宜喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-045389
公開番号（公開出願番号）：特開2013-180921
出願日： 2012年03月01日
公開日（公表日）： 2013年09月12日
要約：
【課題】スクライブヘッドをスライドベースを介してビームに沿って移動させるスクライブ装置において、スクライブヘッドの重みによるスライドベースの歪みを抑えること。【解決手段】ビーム12のスライドベース18が取り付けられる側に、ビーム12の長手方向に沿って突出部17を設け、突出部17の貫通孔17Aの外側内壁にスライドベース18の上部を対向させる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
脆性材料基板が設置されるテーブルと、
前記テーブルに設置される脆性材料基板の面に平行なビームを有するブリッジと、
前記ビームに沿って移動自在のスライドベースと、
前記スライドベースを前記ビームに沿って直線移動させるリニアモータと、
前記スライドベースに取付けられ、前記脆性材料基板をスクライブするスクライビングホイールを保持するスクライブヘッドと、を具備し、
前記ビームには、前記スライドベースが取付けられる側に突出する突出部を設け、該突出部の長手方向に沿って貫通孔を設けると共に、前記スライドベースの上端を前記貫通孔の内壁に対向させたスクライブ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
3C069AA03
, 3C069BB01
, 3C069BC04
, 3C069CA11
, 3C069EA02
, 4G015FA03
, 4G015FB01
, 4G015FC11
