特許
J-GLOBAL ID：201303028814375811
ドープ石英ガラスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人サクラ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-020048
公開番号（公開出願番号）：特開2013-177297
出願日： 2013年02月05日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
要約：
【課題】金属元素が所望の濃度で均一に分布したドープ石英ガラスを容易に、かつ安定して製造することができる方法を提供する。【解決手段】ケイ素化合物及び昇華性の有機金属化合物を含む液体原料を気化させて原料ガスを生成し、この原料ガスを酸水素火炎に供給し火炎中で反応させてガラス微粒子を生成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ケイ素化合物及び昇華性の有機金属化合物を含む液体原料を気化させて原料ガスを生成する原料ガス生成工程と、
前記原料ガスを酸水素火炎に供給し火炎中で反応させてガラス微粒子を生成するガラス微粒子生成工程と
を有することを特徴とするドープ石英ガラスの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
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