特許
J-GLOBAL ID：201303028827185884

ジャイロセンサーおよび電子機器

発明者：
石井 昌宏

石井 昌宏 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-056458
公開番号（公開出願番号）：特開2013-190304
出願日： 2012年03月13日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
要約：
【課題】互いに交差する2軸の各軸まわりの角速度を検出することのできるジャイロセンサーを提供すること。【解決手段】ジャイロセンサー2は、基部41と、記基部41からX軸に沿って互いに反対に延びる第1連結腕44および第2連結腕45と、第1連結腕44からY軸に沿って延びる第1駆動振動腕46と、第2連結腕45からY軸に沿って延びる第2駆動振動腕46と、基部41からY軸に沿って互いに反対に延びる第1検出振動腕42および第2検出振動腕43とを備え、第1駆動振動腕46および第2駆動振動腕47のそれぞれは、X軸およびZ軸の方向の振動成分を含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
互いに交差する3つの軸を第1軸、第2軸および第3軸としたとき、 基部と、 前記基部から前記第1軸に沿って互いに反対に延びる第1連結腕および第2連結腕と、 前記第1連結腕から前記第2軸に沿って延びる第1駆動振動腕と、 前記第2連結腕から前記第2軸に沿って延びる第2駆動振動腕と、 前記基部から前記第2軸に沿って互いに反対に延びる第1検出振動腕および第2検出振動腕と、を備え、 前記第1駆動振動腕および前記第2駆動振動腕のそれぞれは、前記第1軸および前記第3軸の方向の振動成分を含むことを特徴とするジャイロセンサー。
IPC (4件)：
G01C 19/560 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18
FI (4件)：
G01C19/56 107 ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A
Fターム (11件)：
2F105AA08 ,  2F105AA10 ,  2F105BB02 ,  2F105BB12 ,  2F105CC01 ,  2F105CC11 ,  2F105CD01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD11 ,  2F105CD13
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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