特許
J-GLOBAL ID:201303028901481725
感光性樹脂組成物
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 中村 和広
, 齋藤 都子
, 三間 俊介
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-200863
公開番号(公開出願番号):特開2013-061556
出願日: 2011年09月14日
公開日(公表日): 2013年04月04日
要約:
【課題】高感度かつ解像性に優れ、良好な耐エッチング性及び硬化膜柔軟性を有する感光性樹脂組成物及び積層体の提供。【解決手段】(A)アルカリ可溶性高分子:10〜90質量%、(B)エチレン性不飽和二重結合を有する化合物:5〜70質量%、及び(C)光重合開始剤:0.01〜20質量%、を含有する感光性樹脂組成物であって、該(A)アルカリ可溶性高分子が、酸当量100〜600、及び重量平均分子量5000〜500000を有し、該(A)アルカリ可溶性高分子が、特定構造のスチレン系化合物を特定量含む単量体成分の重合生成物であり、該(B)エチレン性不飽和二重結合を有する化合物が特定構造のビスフェノール系化合物を含む、感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
感光性樹脂組成物の総量基準で、
(A)アルカリ可溶性高分子:10〜90質量%、
(B)エチレン性不飽和二重結合を有する化合物:5〜70質量%、及び
(C)光重合開始剤:0.01〜20質量%、
を含有する感光性樹脂組成物であって、
該(A)アルカリ可溶性高分子が、酸当量100〜600、及び重量平均分子量5000〜500000を有し、
該(A)アルカリ可溶性高分子が、下記一般式(I):
IPC (6件):
G03F 7/033
, G03F 7/004
, G03F 7/027
, G03F 7/031
, C08F 12/00
, H05K 3/06
FI (6件):
G03F7/033
, G03F7/004 512
, G03F7/027 502
, G03F7/031
, C08F12/00 510
, H05K3/06 J
Fターム (46件):
2H125AC24
, 2H125AC33
, 2H125AC34
, 2H125AC38
, 2H125AC53
, 2H125AC58
, 2H125AC64
, 2H125AD14
, 2H125AD24
, 2H125AE15P
, 2H125AM13P
, 2H125AM23P
, 2H125AM32P
, 2H125AN03P
, 2H125AN49P
, 2H125AN61P
, 2H125AN65P
, 2H125AN66P
, 2H125AN73P
, 2H125AN75P
, 2H125AN80P
, 2H125AN85P
, 2H125AN87P
, 2H125BA04P
, 2H125BA08P
, 2H125BA09P
, 2H125BA11P
, 2H125BA18P
, 2H125BA22P
, 2H125CA13
, 2H125CB04
, 2H125CC01
, 2H125CC13
, 2H125CD05P
, 2H125CD08P
, 2H125CD38
, 5E339BC02
, 5E339BE13
, 5E339CC01
, 5E339CC02
, 5E339CD01
, 5E339CF16
, 5E339CF17
, 5E339DD02
, 5E339DD04
, 5E339GG02
引用特許:
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