特許
J-GLOBAL ID:201303029212526270

パターン形成装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 振角 正一 ,  梁瀬 右司 ,  大西 一正
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-108570
公開番号(公開出願番号):特開2013-233756
出願日: 2012年05月10日
公開日(公表日): 2013年11月21日
要約:
【課題】パターン形成を良好に行うことが可能なパターン形成装置を提供する。【解決手段】板状の物体PPに対して担持体BL上のパターン形成領域A1を当接させてパターン形成を行うパターン形成装置が、物体PPを吸着保持可能な開口351を有する吸着プレート34と、吸着プレート34が吸着保持可能な領域よりも狭い複数の局所領域を吸着保持可能な複数の局所吸着部352とを備えている。開口351は、吸着プレート34のうちパターン形成時にパターン形成領域A1と対向する領域A3の外側に形成され、複数の局所吸着部352は、パターン形成時にパターン形成領域A1と対向する領域A3の外側に配置されている。【選択図】図5
請求項(抜粋):
板状の物体に対して担持体上のパターン形成領域を当接させてパターン形成を行うパターン形成装置であって、 負圧を供給する負圧供給手段と、 前記負圧供給手段から供給される負圧によって前記物体を吸着保持する吸着手段と、 を備え、 前記吸着手段は、前記物体のうち前記パターン形成時に前記パターン形成領域と対向する領域の外側を吸着することを特徴とするパターン形成装置。
IPC (2件):
B41F 17/14 ,  B41F 1/16
FI (2件):
B41F17/14 E ,  B41F1/16
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 凹版オフセット印刷方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-338837   出願人:東芝機械株式会社
  • 印刷方法及び印刷装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2007-049001   出願人:凸版印刷株式会社
  • 印刷装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2001-073437   出願人:大日本スクリーン製造株式会社
審査官引用 (3件)
  • 凹版オフセット印刷方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-338837   出願人:東芝機械株式会社
  • 印刷方法及び印刷装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2007-049001   出願人:凸版印刷株式会社
  • 印刷装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2001-073437   出願人:大日本スクリーン製造株式会社

前のページに戻る