特許
J-GLOBAL ID:201303030346297470

高周波磁界検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 平山 一幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-083425
公開番号(公開出願番号):特開2013-213708
出願日: 2012年03月31日
公開日(公表日): 2013年10月17日
要約:
【課題】サブミクロンの空間分解能を有し、かつ、高周波数領域まで測定可能な高周波磁界検出装置を提供する。【解決手段】 高周波磁界検出装置1は、磁気力顕微鏡2と、磁気力顕微鏡2の測定対象物4に第1の高周波信号3Aを印加する第1の高周波発振器3と、測定対象物4に近接して設置されたビート発生用コイル5と、このコイル5に、第1の高周波数信号3Aと周波数の異なる第2の高周波信号6Aを印加する第2の高周波発振器6と、を有し、測定対象物4に、第1の高周波信号3Aと第2の高周波数信号6Aと、第1及び第2の高周波信号の差周波数であるビート信号を印加し、ビート信号の周波数と磁気力顕微鏡2の探針4の共振周波数を同じ値とすることで、磁気力顕微鏡2により高周波磁界の検出を高感度で行うことができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
磁気力顕微鏡と、 上記磁気力顕微鏡の測定対象物に第1の高周波信号を印加する手段と、 上記測定対象物に近接して設置されたコイルと、 上記コイルに上記第1の高周波数信号と周波数の異なる第2の高周波信号を印加する手段と、 を有し、 上記測定対象物に、上記第1の高周波信号と、上記第2の高周波数信号と、該第1及び第2の高周波信号の差周波数であるビート信号が印加されることを特徴とする、高周波磁界検出装置。
IPC (1件):
G01Q 60/50
FI (1件):
G01Q60/50
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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