特許
J-GLOBAL ID:201303030828214297
金属銅焼結膜の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-006955
公開番号(公開出願番号):特開2013-147678
出願日: 2012年01月17日
公開日(公表日): 2013年08月01日
要約:
【課題】低温度でも大量に焼結処理が可能であり、金属銅焼結膜の抵抗値を十分低くする製造方法を提供する。【解決手段】 ゼラチンを粒子表面に有する金属銅粒子、高分子分散剤及び有機溶媒を含む分散液を用いて基材の表面に金属銅含有膜を形成し、次いで、その金属銅含有膜の全領域又は一部領域にプラズマ処理する工程を含むことにより、低温度でも大量に焼結処理が可能であり、製造した金属銅焼結膜の抵抗値は十分低く、電極、配線パターン、塗膜等に用いることができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
少なくとも、ゼラチンを粒子表面に有する金属銅粒子、高分子分散剤及び有機溶媒を含む分散液を用いて基材の表面に金属銅含有膜を形成する工程(a)、
次いで、その金属銅含有膜の全領域又は一部領域にプラズマ処理する工程(b)を含む金属銅焼結膜の製造方法。
IPC (7件):
B22F 1/02
, B22F 7/04
, B22F 3/105
, H01B 13/00
, H01B 5/14
, H05K 1/09
, H05K 3/10
FI (8件):
B22F1/02 B
, B22F7/04 D
, B22F3/105
, H01B13/00 503Z
, H01B5/14 Z
, H01B5/14 B
, H05K1/09 D
, H05K3/10 D
Fターム (34件):
4E351AA02
, 4E351AA16
, 4E351BB01
, 4E351BB31
, 4E351CC08
, 4E351CC27
, 4E351DD04
, 4E351DD52
, 4E351DD56
, 4E351EE11
, 4E351EE21
, 4E351EE24
, 4E351GG16
, 4E351GG20
, 4K018BA02
, 4K018BB04
, 4K018BC29
, 4K018BD04
, 4K018DA23
, 4K018KA33
, 5E343AA02
, 5E343AA16
, 5E343AA33
, 5E343BB24
, 5E343BB73
, 5E343BB77
, 5E343BB78
, 5E343DD12
, 5E343EE46
, 5E343ER35
, 5E343GG11
, 5G307GA06
, 5G307GC01
, 5G323AA03
引用特許:
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