特許
J-GLOBAL ID：201303030869116160
イオンビーム装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
濱田 百合子
, 橋本 公秀
, 吉田 将明
, 久原 健太郎
, 内野 則彰
, 木村 信行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-068016
公開番号（公開出願番号）：特開2013-200986
出願日： 2012年03月23日
公開日（公表日）： 2013年10月03日
要約：
【課題】イオンビームの光学系に放電を発生させず、スムーズなビーム切換えを図ること。【解決手段】 イオンビーム9を放出するイオン源101と、コンデンサレンズ電極102と、照射モードに対応するレンズの設定電圧値を記憶する記憶部13と、直前の照射モードに対応する最適な設定電圧値を読み出し、電圧値をレンズ電源に設定する制御部16と、を有するイオンビーム装置を提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
イオンビームを放出するイオン源と、
前記イオンビームを集束させるコンデンサレンズを形成するコンデンサレンズ電極と、
前記コンデンサレンズ電極に電圧を印加するコンデンサレンズ電源と、
試料を観察するための前記イオンビームを照射する観察モードに対応する前記コンデンサレンズ電極に印加する第一の電圧値と、前記観察モードよりも電流量が大きい前記イオンビームを照射する加工モードに対応する前記コンデンサレンズ電極に印加する第二の電圧値と、前記観察モードよりも前記試料上の広い範囲に前記イオンビームを照射する広範囲観察モードに対応する前記コンデンサレンズ電極に印加する第三の電圧値と、前記広範囲観察モードに対応し、前記第三の電圧値よりも前記第二の電圧値に近い値の第四の電圧値と、を記憶する記憶部と、
前記観察モードから前記広範囲観察モードに切替える場合は、前記記憶部から前記第三の電圧値を読出し、前記コンデンサレンズ電源に設定し、前記加工モードから前記広範囲観察モードに切替える場合は、前記記憶部から前記第四の電圧値を読出し、前記コンデンサレンズ電源に設定する制御部と、を有するイオンビーム装置。
IPC (3件)：
H01J 37/317
, H01J 37/30
, H01J 37/28
H01J37/317 D
, H01J37/30 Z
, H01J37/28 Z
5C033UU01
, 5C033UU02
, 5C033UU10
, 5C034AB03
, 5C034AB07
, 5C034DD03
, 5C034DD05
, 5C034DD07
, 5C034DD09
