マイクロ波放射機構、表面波プラズマ源および表面波プラズマ処理装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高山宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-216540
公開番号（公開出願番号）：特開2013-077441
出願日： 2011年09月30日
公開日（公表日）： 2013年04月25日
要約：

【課題】表面波プラズマ発生用アンテナから出力される電力やアンテナ直下のプラズマ状態を、プラズマ生成するための電界分布を乱すことなく直接検出することができるマイクロ波放射機構を提供すること。【解決手段】マイクロ波放射機構41は、表面波プラズマ発生用アンテナ81と、誘電体からなる遅波材82と、アンテナ81から放射されたマイクロ波により表面波プラズマを生成するための電界が形成される誘電体部材83と、電界センサ112またはプラズマ発光センサ113と、遅波材82および表面波プラズマ発生用アンテナ81を貫通するように設けられたセンサ挿入孔110とを具備し、センサ挿入孔110は、スロット内側に対応する領域に、同一の円周上にスロットの1以上の整数倍の個数が均等に形成されており、電界センサ112またはプラズマ発光センサ113は、センサ挿入孔110の少なくとも一つに挿入されている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

チャンバ内に表面波プラズマを形成するための表面波プラズマ源におけるマイクロ波出力部から出力されたマイクロ波を伝送するマイクロ波伝送路に設けられ、マイクロ波をチャンバ内に放射するマイクロ波放射機構であって、前記マイクロ波伝送路を伝送されてきたマイクロ波を、スロットを介して前記チャンバ内に放射して表面波プラズマを発生させる表面波プラズマ発生用アンテナと、前記マイクロ波伝送路の前記表面波プラズマ発生用アンテナの上流側に設けられた誘電体からなる遅波材と、前記マイクロ波伝送路の前記表面波プラズマ発生用アンテナの下流側に設けられ、前記表面波プラズマ発生用アンテナから放射されたマイクロ波により前記表面波プラズマを生成するための電界が形成される誘電体部材と、前記表面波プラズマ発生用アンテナから放射されたマイクロ波の電力を計測するために前記誘電体部材の電界を検出する電界センサ、または、前記誘電体部材を介して表面波プラズマの発光を検出するプラズマ発光センサと、前記遅波材および前記表面波プラズマ発生用アンテナを貫通するように設けられ、前記電界センサまたは前記プラズマ発光センサが挿入されるセンサ挿入孔と、を具備し、前記センサ挿入孔は、前記遅波材および前記表面波プラズマ発生用アンテナの前記スロット内側に対応する領域に、前記マイクロ波伝送路の軸を中心とした同一の円周上に前記スロットのn倍(ただし、nは1以上の整数)の個数が均等に形成されており、前記電界センサまたは前記プラズマ発光センサは、前記センサ挿入孔の少なくとも一つに挿入されていることを特徴とするマイクロ波放射機構。

IPC (4件)：

H05H 1/46 , H01L 21/306 , H05H 1/00 , H01L 21/205

FI (5件)：

H05H1/46 B , H01L21/302 101D , H05H1/00 A , H01L21/302 103 , H01L21/205

Fターム (24件)：

5F004AA16 , 5F004BA20 , 5F004BB11 , 5F004BB18 , 5F004BB22 , 5F004BB25 , 5F004BB28 , 5F004BD01 , 5F004BD04 , 5F004CA06 , 5F004CB06 , 5F004CB09 , 5F004DA04 , 5F045AA09 , 5F045BB20 , 5F045DP03 , 5F045DQ10 , 5F045EE06 , 5F045EF05 , 5F045EH02 , 5F045EH03 , 5F045EH20 , 5F045EJ10 , 5F045GB08

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