特許
J-GLOBAL ID:201303031225628590
電磁波イメージング装置
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
高橋 敬四郎
, 来山 幹雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-185155
公開番号(公開出願番号):特開2013-044727
出願日: 2011年08月26日
公開日(公表日): 2013年03月04日
要約:
【課題】 被測定物の複数個所のイメージングを同時に行う。【解決手段】 被測定物に照射された検出用電磁波が、電気光学結晶に入射する。検出用電磁波の波面に対して、プローブ波の波面を傾斜させて、プローブ波を電気光学結晶に照射する。 電気光学結晶を透過したプローブ波を撮像装置が検出する。検出用電磁波の波面とプローブ波の波面とに直交する第1の仮想平面内において、検出用電磁波またはプローブ波のビーム断面が、光路長の異なる複数の第1の単位領域に区分される。電気光学結晶の表面と第1の仮想平面との交線方向の複数個所で、検出用電磁波の波面とプローブ波の波面との位相ずれが補償される。第1の仮想平面と直交し、プローブ波の進行方向と平行な第2の仮想平面内において、プローブ波のビーム断面が複数の第2の単位領域に区分される。さらに、第2の単位領域の各々が、プローブ波の波面の遅延時間が異なる複数の領域に区分される。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
電気光学結晶と、
パルス状の検出用電磁波を被測定物に照射し、透過、又は反射した前記検出用電磁波を前記電気光学結晶に入射する第1の光学系と、
前記検出用電磁波の波面に対して、パルス状のプローブ波の波面を傾斜させて、前記プローブ波を前記電気光学結晶に照射する第2の光学系と、
前記電気光学結晶を透過した前記プローブ波を検出する撮像装置と
を有し、
前記第1の光学系及び前記第2の光学系の一方は、前記検出用電磁波の波面と前記プローブ波の波面とに直交する第1の仮想平面内において、前記検出用電磁波または前記プローブ波のビーム断面を複数の第1の単位領域に区分し、前記第1の単位領域を通過するビームの光路長を、前記第1の単位領域ごとに異ならせる補償光学部材であって、前記電気光学結晶の表面と、前記第1の仮想平面との交線方向の複数個所で、前記検出用電磁波の波面と前記プローブ波の波面との位相ずれを補償する補償光学部材を含み、
前記第2の光学系は、前記第1の仮想平面と直交し、前記プローブ波の進行方向と平行な第2の仮想平面内において、前記プローブ波のビーム断面を複数の第2の単位領域に区分し、さらに、前記第2の単位領域の各々を、前記プローブ波の波面の遅延時間が異なる複数の領域に区分する時間遅延装置を含み、
前記時間遅延装置は、高さの異なる2種類の反射表面が第1の方向に配列した段差ミラーと、前記段差ミラーに対向する対向ミラーとを含み、前記プローブ波が、前記段差ミラーの反射表面上において、反射位置を前記第1の方向にずらしながら、前記段差ミラーと前記対向ミラーとの間を複数回往復することにより、前記プローブ波の波面の遅延時間が異なる複数の領域に区分される電磁波イメージング装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (16件):
2G059AA05
, 2G059BB08
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059FF01
, 2G059GG01
, 2G059GG04
, 2G059GG08
, 2G059HH01
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ18
, 2G059JJ19
, 2G059KK04
, 2G059LL01
, 2G059LL03
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