特許

J-GLOBAL ID：201303031389723488

基板検査方法及び装置

発明者： 早野 明 ,  家田 雅常
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 高橋 浩三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-079673
公開番号（公開出願番号）：特開2013-210237
出願日： 2012年03月30日
公開日（公表日）： 2013年10月10日
要約：

【課題】基板検査装置の光学系ユニット移動機構の設置スペースを大きくすることなく低価格にて構成する。【解決手段】基板検査装置100は、光学系手段3を基板10aに対してX方向に移動させながら検査を行なう。門型のガントリ構造体の側面にはY方向に沿って2列のリニア案内8a,8bが設けられる。この光学系手段3をY方向に移動させる光学系ユニット移動機構としてラックアンドピニオン機構からなる駆動手段6a,6bを用いる。リニア案内8bの下側にラックアンドピニオン機構のラック部21が設けられる。ラックアンドピニオン機構のピニオン部19a,19bは、モータ18a,18bの出力軸に取付けられる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板に検査光を照射する投光手段と、前記基板からの反射光又は散乱光を受光する受光手段とを備えた光学系手段を前記基板に対して第1の方向に相対的に移動させながら検査を行なう基板検査方法において、前記光学系手段をラックアンドピニオン機構からなる駆動手段を用いて前記第1の方向に対して略垂直の第2の方向に移動を行なうようにしたことを特徴とする基板検査方法。

IPC (1件)：

G01N 21/958

FI (1件)：

G01N21/958

Fターム (6件)：

2G051AA65 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AC15 ,  2G051AC30 ,  2G051CB05