特許

J-GLOBAL ID：201303031432639380

センサチップおよび圧力センサ

発明者： 内ヶ島 寛
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (2件)： 田下 明人 ,  立石 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-158583
公開番号（公開出願番号）：特開2013-024670
出願日： 2011年07月20日
公開日（公表日）： 2013年02月04日
要約：

【課題】検出精度を低下させることなく複数の圧力検出部からの信号に基づいて圧力媒体の圧力に応じた圧力信号を出力するセンサチップおよび圧力センサを提供する。【解決手段】センサチップ40の処理回路43が設けられる基部41とダイアフラム24との間に介在する複数の脚部42a〜42dには、ダイアフラム側に配置されてダイアフラム24の変形に応じた信号を出力するゲージ抵抗44a〜44dと、これらのゲージ抵抗44a〜44dからの信号を処理回路43に出力するための貫通電極45a〜45dと、がそれぞれ設けられている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

圧力媒体が作用する受圧部の変形に基づいて当該圧力媒体の圧力に応じた圧力信号を出力するセンサチップであって、 前記圧力信号を出力するための出力部が設けられる基部と、 前記基部と前記受圧部との間に介在する複数の脚部と、を備え、 前記複数の脚部には、受圧部側に配置されて前記受圧部の変形に応じた信号を出力する圧力検出部と、この圧力検出部からの信号を前記出力部に出力するための導通部と、がそれぞれ設けられることを特徴とするセンサチップ。

IPC (1件)：

G01L 9/00

FI (1件)：

G01L9/00 303L

Fターム (9件)：

2F055AA25 ,  2F055AA27 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF01 ,  2F055FF23 ,  2F055GG12