特許
J-GLOBAL ID:201303031686866280
金属酸化物を含むヘテロ接合を有する構造体
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-188977
公開番号(公開出願番号):特開2013-075356
出願日: 2012年08月29日
公開日(公表日): 2013年04月25日
要約:
【課題】下地の化学反応性や結晶性や原子レベルに薄い炭素固体のような薄さに制限されず、高い結晶性を持ち、所望の方向に結晶に配向でき、界面に特性を阻害する反応層ができず、歪、転位、欠陥や微細加工による損傷を回避して、物質本来の高特性を引き出せる安定なヘテロ構造の構成と、その製法を得る。これにより、高機能を持つ、結晶性金属酸化物を用いるナノスケールヘテロ構造を安価に得る。【解決手段】金属酸化物と共有結合性物質を、既に結晶格子を組んでいる状態で、原子レベルで接近させてヘテロ接合を形成する。特に、活性酸素照射で清浄化した該金属酸化物の表面と、該共有結合性物質の清浄化表面を接近させる。これにより、界面の一部の原子同士のみの共有結合、特に酸素と共有結合性物質中の元素の共有結合に担われるヘテロ接合ができ、上記の課題を達成する。【選択図】図1a
請求項(抜粋):
構造体に含まれる少なくとも一つのヘテロ接合が、
金属酸化物と共有結合性物質から構成され、
該ヘテロ接合が、該金属酸化物上の該共有結合性物質の堆積による場合は、該共有結合性物質が結晶性、
該ヘテロ接合が、該共有結合性物質上の該金属酸化物の堆積による場合は、該金属酸化物が結晶性であり、
該金属酸化物の表面の酸素原子の一部と、
該共有結合性物質の表面の構成原子の一部が、
共有結合的に結合して隣接することを特徴とする構造体。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許:
審査官引用 (12件)
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特開平3-238744
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特開平4-045577
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FET素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-298965
出願人:三菱化成株式会社
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引用文献:
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