特許
J-GLOBAL ID：201303032659728173
蒸着用ボートおよび蒸着用ボートの使用方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
内藤 浩樹
, 永野 大介
, 藤井 兼太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-030260
公開番号（公開出願番号）：特開2013-166985
出願日： 2012年02月15日
公開日（公表日）： 2013年08月29日
要約：
【課題】静電容量バラつきの少ない大容量の電極箔を形成する事を目的とする。【解決手段】この目的を達成するため本発明の蒸着用ボート17は、基体22の表面に凹溝21が形成された蒸着用ボート17であって、外部電源Zと接続される端部23A、23Bと、凹溝21およびこの凹溝21の外周に設けられた外枠部24を有する蒸発領域25と、端部23A、23Bと蒸発領域25との間に設けられ、蒸発領域25以上の抵抗値を有する高抵抗部26A、26Bと、を備えたものとした。これにより本発明は、基体22の抵抗値変化を抑制し、蒸着材料の蒸発量を安定化できる。そしてその結果、均一な粗膜層11を形成できる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基体の表面に凹溝が形成された蒸着用ボートであって、
外部電源と接続される端部と、
前記凹溝およびこの凹溝の外周に設けられた外枠部を有する蒸発領域と、
前記端部と前記蒸発領域との間に設けられ、前記蒸発領域以上の抵抗値を有する高抵抗部と、を備えた、蒸着用ボート。
IPC (1件)：
FI (2件)：
C23C14/24 A
, C23C14/24 B
4K029AA02
, 4K029AA25
, 4K029BA03
, 4K029CA01
, 4K029DB12
, 4K029DB13
, 4K029DB15
, 4K029DB18
, 4K029JA10
, 4K029KA03
