特許

J-GLOBAL ID：201303032718767870

石英るつぼ、石英るつぼの製造方法及び鋳造装置

発明者： 二田 伸康 ,  中田 嘉信
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  増井 裕士 ,  細川 文広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-041802
公開番号（公開出願番号）：特開2013-177268
出願日： 2012年02月28日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
要約：

【課題】シリコンインゴットを製造する際に、るつぼ内の溶湯の凝固界面形状を理想的な上凸形状に近づける方法及びるつぼ製造装置を提供する。【解決手段】シリコンインゴットを製造するための石英るつぼ20である。底部21と、底部21の外周部から起立する側壁部22とを備える。底部21と側壁部22とが交わる交差部分23の外側が張り出されて側壁部22よりも厚さが厚い肉厚部24が形成される。肉厚部24の張り出し部分25はるつぼ本体20Aと同じ材料である石英によって構成されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

シリコンインゴットを製造するための石英るつぼであって、 底部と、前記底部の外周部から起立する側壁部とを備えるとともに、上方が開口されてなり、 前記底部と前記側壁部とが交わる交差部分の外側が張り出されて前記側壁部よりも厚さが厚い肉厚部が形成されていることを特徴とする石英るつぼ。

IPC (3件)：

C03B 20/00 ,  C03C 17/23 ,  C01B 33/02

FI (3件)：

C03B20/00 H ,  C03C17/23 ,  C01B33/02 Z

Fターム (13件)：

4G014AH00 ,  4G059AA04 ,  4G059AC01 ,  4G059AC20 ,  4G059EA01 ,  4G059EA05 ,  4G059EB01 ,  4G072AA01 ,  4G072BB01 ,  4G072BB12 ,  4G072GG04 ,  4G072MM38 ,  4G072NN02