特許

J-GLOBAL ID：201303033197316997

超音波厚みセンサの製造方法

発明者： 森 一剛 ,  工藤 大祐 ,  小林 高揚 ,  山本 裕子 ,  上元 章弘 ,  川浪 精一
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (5件)： 森 隆一郎 ,  志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  山崎 哲男 ,  松沼 泰史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-031840
公開番号（公開出願番号）：特開2013-168573
出願日： 2012年02月16日
公開日（公表日）： 2013年08月29日
要約：

【課題】超音波厚みセンサとして薄質で可撓性を示し、測定対象面が湾曲している場合でも追従させることができる超音波厚みセンサを、一括して多数製造し得るようにして、量産的規模での超音波厚みセンサの製造コストの大幅な低減を図る。【解決手段】酸化物系圧電材料を含む多数の区分焼結原料層を、多数の超音波厚みセンサにおける第1の電極となるべき金属薄板の一方の板面に、間隔を置いて区分形成し、各区分焼結原料層を一括して加熱焼成することにより、多数の区分焼結体層を金属薄板上に間隔を置いて一括形成し、各区分焼結体層の表面にそれぞれ第2の電極を形成した後、金属薄板の他方の板面と多数の第2の電極の表面との間に電位差を与えて、区分焼結体層を分極処理し、その後、隣り合う区分焼結体層の間で前記金属薄板を厚み方向に切断して、それぞれ単一の区分焼結体層を有する多数の超音波センサを一括して分離形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

それぞれ酸化物系圧電材料を含む焼結原料からなる多数の区分焼結原料層を、多数の超音波厚みセンサにおける第1の電極となるべき金属薄板の一方の板面に、間隔を置いて区分形成する区分焼結原料層形成工程と、 前記各区分焼結原料層を一括して加熱することにより焼結原料を焼成し、これによってそれぞれ密度が70〜80%の範囲内の酸化物系圧電材料の焼結体からなる多数の区分焼結体層を前記板面上に間隔を置いて形成する焼成工程と、 前記各区分焼結体層の表面に、それぞれ第2の電極を形成する第2電極形成工程と、 前記金属薄板の他方の板面と多数の第2の電極の表面との間に電位差を与えて、前記多数の区分焼結体層を分極処理する分極処理工程と、 分極処理後に、少なくとも隣り合う区分焼結体層の間で前記金属薄板を厚み方向に切断して、それぞれ焼結体層を有する多数の超音波センサを一括して分離形成する分離工程と、 を有してなることを特徴とする超音波厚みセンサの製造方法。

IPC (8件)：

H01L 41/22 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/39 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/257 ,  H04R 31/00 ,  H04R 17/00 ,  G01N 29/24

FI (10件)：

H01L41/22 Z ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/22 B ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/18 101B ,  H04R31/00 330 ,  H04R17/00 330Z ,  G01N29/24

Fターム (19件)：

2F068AA28 ,  2F068BB09 ,  2F068CC16 ,  2F068DD11 ,  2F068GG01 ,  2F068KK13 ,  2F068LL29 ,  2F068LL30 ,  2G047BC18 ,  2G047GB02 ,  2G047GB16 ,  2G047GB32 ,  2G047GB35 ,  5D019AA24 ,  5D019AA26 ,  5D019BB02 ,  5D019BB12 ,  5D019FF03 ,  5D019HH01