特許

J-GLOBAL ID：201303033260317230

コーティングの光学的な層厚さを連続的に決定するための方法

発明者： トルステン ディーター ,  アルフォンス ツェラー ,  ルドルフ ベックマン ,  ハッロ ハーゲドルン
出願人/特許権者： ライボルト オプティクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (7件)： 久野 琢也 ,  矢野 敏雄 ,  高橋 佳大 ,  星 公弘 ,  二宮 浩康 ,  篠 良一 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-250235
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071318
特許番号：特許第4732569号
出願日： 2000年08月21日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 コンカーブコンベックスレンズの、異なる球半径R1とR2とを有する両側の球面に施されたコーティングの光学的な層厚さを連続的に決定する方法であって、コーティングプロセスの間、各コンカーブコンベックスレンズに偏心的に光線ビームを当て、コンベックスな球面(1)における光線ビームの反射を第1のフォトダイオード(5)で連続的に測定し、コンカーブな球面(2)における光線ビームの反射を第2のフォトダイオード(13)で連続的に測定して、各光学的な層厚さを、反射と光学的な層厚さとの間の機能的な関係から求めることを特徴とする、コーティングの光学的な層厚さを連続的に決定する方法。

IPC (1件)：

G01B 11/06 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G01B 11/06 G

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭58-000704
  
• 特開平1-320410