特許
J-GLOBAL ID：201303033398820642
高い開口数を有する反射屈折光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-106595
公開番号（公開出願番号）：特開2013-242565
出願日： 2013年05月20日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
要約：
【課題】高い開口数を有する反射屈折光学系を提供する。【解決手段】光学系は、第1の中間像面において、物体面に配置された物体の第1の中間像を形成する第1の光学群と、像面において、第1の中間像に基づいて物体の最終像を形成する第2の光学群及び第3の光学群とを含む。第1の光学群は、第1の表面と、第1の表面に面する凹面の第2の表面とを有する固体レンズからなり、固体レンズは、物体で生じた光を収集し、且つ、その内部で収集光を少なくとも2回反射する。第2の光学群は、少なくとも1つのマンジャンミラーを含み、第3の光学群は、複数のレンズを含む。第1の光学群、第2の光学群及び第3の光学群は、軸上色収差及びペッツバール湾曲を適切に制御することができ、その結果、高NA照明による結像を行うことができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1の中間像面において、物体面に配置された物体の第1の中間像を形成する第1の光学群と、
像面において、前記第1の中間像に基づいて前記物体の最終像を形成する第2の光学群及び第3の光学群と、
を備える光学系であって、
前記第1の光学群、前記第2の光学群及び前記第3の光学群は、前記物体面から前記像面まで順に前記光学系の光軸に沿って配置され、
前記第1の光学群は、第1の表面と、前記第1の表面の反対側にある凹面の第2の表面とを有する固体レンズからなり、前記固体レンズは、前記物体で生じた光を収集し、且つ、前記収集された光を内部で少なくとも2回反射し、
前記第2の光学群は、少なくとも1つのマンジャンミラーを含み、前記第3の光学群は、複数のレンズを含む
ことを特徴とする光学系。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
2H087KA09
, 2H087KA21
, 2H087LA01
, 2H087NA03
, 2H087NA04
, 2H087NA14
, 2H087TA01
, 2H087TA05
