特許

J-GLOBAL ID：201303033577689150

液浸部材、露光装置、露光方法、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体

発明者： 佐藤 真路
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-108359
公開番号（公開出願番号）：特開2013-236000
出願日： 2012年05月10日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
要約：

【課題】露光不良の発生を抑制できる液浸部材を提供する。【解決手段】液浸部材は、光学部材の射出面から射出される露光光の光路が液体で満たされるように、光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する。液浸部材は、光学部材の周囲の少なくとも一部に配置され、第1下面を有する第1部材と、第1部材の下方において光路の周囲の少なくとも一部に配置され、第1下面と間隙を介して対向する第2上面と物体が対向可能な第2下面とを有し、第1部材に対して可動な第2部材と、を備える。第2部材が、第1部材から離れるように移動可能である。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

光学部材の射出面から射出される露光光の光路が液体で満たされるように、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する液浸部材であって、 前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置され、第1下面を有する第1部材と、 前記第1部材の下方において前記光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記第1下面と間隙を介して対向する第2上面と前記物体が対向可能な第2下面とを有し、前記第1部材に対して可動な第2部材と、を備え、 前記第2部材が、前記第1部材から離れるように移動可能である液浸部材。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (2件)：

H01L21/30 515D ,  H01L21/30 503G

Fターム (6件)：

5F146BA11 ,  5F146CA04 ,  5F146CB31 ,  5F146CB45 ,  5F146DA32 ,  5F146DA34