特許

J-GLOBAL ID：201303034616758535

走査型電子顕微鏡用試料台および走査型電子顕微鏡の試料設置方法

発明者： 浜中 真人 ,  谷山 明
出願人/特許権者： 新日鐵住金株式会社
代理人 (2件)： 杉岡 幹二 ,  千原 清誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-108740
公開番号（公開出願番号）：特開2013-235778
出願日： 2012年05月10日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
要約：

【課題】SEMの試料台への濾紙試料の設置が容易な走査型電子顕微鏡用試料台の提供【解決手段】走査型電子顕微鏡用試料台10は、被検体を付着させた濾紙試料13を載せるための試料台座11と、濾紙試料13を把持するための把持部材12とを備えるものである。この試料台においては、試料台座11の凹部11aの平滑面上に濾紙試料13を載せた状態で、把持用蓋12bで覆い、ネジ12aをネジ穴11bに挿入して固定することにより、濾紙試料13を、その反りを防止しつつ、試料台10に固定することができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

濾紙で回収した被検体を走査型電子顕微鏡によって観察するに際して用いる試料台であって、 該被検体を付着させた濾紙試料を載せるための試料台座と、 該濾紙試料を把持するための把持部材とを備える走査型電子顕微鏡用試料台。

IPC (3件)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/28 ,  G01N 23/225

FI (3件)：

H01J37/20 A ,  G01N1/28 W ,  G01N23/225

Fターム (24件)：

2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001DA02 ,  2G001EA03 ,  2G001FA02 ,  2G001LA02 ,  2G001NA06 ,  2G001NA13 ,  2G001NA17 ,  2G001QA02 ,  2G052AA04 ,  2G052AA11 ,  2G052AD09 ,  2G052AD55 ,  2G052DA33 ,  2G052EA03 ,  2G052FD09 ,  2G052GA35 ,  2G052JA04 ,  5C001AA01 ,  5C001CC04 ,  5C001CC08