特許
J-GLOBAL ID：201303035621070254

コーティングエンハンサーを含むスピンオン誘電体組成物

発明者：
ミルズ,リン ケー.

ミルズ,リン ケー. について

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ドミノウスキ,ジョリー エム.

ドミノウスキ,ジョリー エム. について

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ローズ,ジーン ディー.

ローズ,ジーン ディー. について

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ストランド,ディードル エー.

ストランド,ディードル エー. について

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フォスター,ケネス エル.

フォスター,ケネス エル. について

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ハーン,スティーブン エフ.

ハーン,スティーブン エフ. について


出願人/特許権者：
ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー

ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  蛯谷 厚志 ,  小林 良博 ,  吉井 一男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-512276
特許番号：特許第5209168号
出願日： 2001年07月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 薄膜を形成するためのコーティングに適した組成物であり、 (a)全組成物の重量に対して、1質量(重量)%を超え、40質量(重量)%未満の、有機溶媒に可溶または分散可能なポリマーまたはオリゴマーであって;このポリマーまたはオリゴマーは4.0未満の誘電率を有するか、または硬化可能で4.0未満の誘電率を有する硬化ポリマーを形成することを特徴とするもの、 (b)一つ以上の有機溶媒を含む溶媒系、および (c)全組成物重量に対して、少なくとも0.5から1000ppm未満の量のポリマーコーティング添加剤を含み;該ポリマーコーティング添加剤が、ポリイソプレン、ポリブテン、ポリブタジエン、水素添加ポリスチレン、水素添加ポリスチレン/インデン樹脂、ポリ(スチレン-b-エチレン-co-プロピレン)およびアクリル酸エステルポリマーおよびアクリル酸エステルコポリマーからなる群から選ばれ、 コーティング添加剤は溶液中に分散されているが、コーティングの際に溶媒が除去されるにつれて不相溶性である特徴を有することを特徴とする組成物であって; 前記ポリマーまたはオリゴマーが次の一般式で示され、 [A]w[B]z[EG]v 式中、Aは次の構造式を有し、 【化1】 Bは次の構造式を有し、 【化2】 EGは一または二以上の次の構造式を有する末端基(end group)であり、 【化3】 式中、R1およびR2は独立してHまたは未置換または不活性に置換された芳香族部分(moiety)であり、Ar1,Ar2およびAr3は独立して未置換または不活性に置換された芳香族部分であり、Mは結合であり、yは3以上の整数であり、pは所定のモノマー単位中の未反応アセチレン基の数であり、rは所定のモノマー単位中の反応アセチレン基の数マイナス1であり、p+r=y-1であり、zは1ないし1000の整数であり、wは0ないし1000の整数であり,vは2以上の整数であり; 前記不活性に置換された基が、F,Cl,Br,CF3,-OCH3,-OCF3,-O-Ph、および炭素原子1ないし8のアルキル、および炭素原子3ないし8のシクロアルキルから選ばれる基であり; 前記成分(a)およびポリマーコーティング添加剤が全ハンセン溶解度パラメーターを有し;且つ、該ポリマーコーティング添加剤についての全ハンセン溶解度パラメーターが、成分(a)についての全ハンセン溶解度パラメーターよりも少なくとも1MPa1/2小さいことを特徴とする組成物。
IPC (6件)：
C09D 201/00 ( 200 6.01) ,  B05D 5/12 ( 200 6.01) ,  B05D 7/24 ( 200 6.01) ,  C08G 61/00 ( 200 6.01) ,  C09D 7/12 ( 200 6.01) ,  C09D 165/02 ( 200 6.01)
FI (6件)：
C09D 201/00 ,  B05D 5/12 D ,  B05D 7/24 301 R ,  C08G 61/00 ,  C09D 7/12 ,  C09D 165/02
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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