樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-275659
公開番号（公開出願番号）：特開2013-040319
出願日： 2011年12月16日
公開日（公表日）： 2013年02月28日
要約：

【課題】優れたマスクエラーファクター(MEF)のレジストパターンを製造し得るレジスト組成物及び該レジスト組成物に用いられる新規な樹脂を提供する。【解決手段】式(aa)で表される構造単位(aa)と、式(ab)で表される構造単位(ab)とを有する樹脂及びこの樹脂及び酸発生剤を含むレジスト組成物。[Raa1及びRab1は、水素原子又はメチル基;Raa2は、水素原子又はフッ化アルキル基;Raa3は、フッ化アルキル基;Raa4は、酸安定基;Aaa1は、炭化水素基;Aab1は、アルカンジイル基;Rab2は、脂肪族炭化水素基を表す。]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(aa)で表される構造単位(aa)と、式(ab)で表される構造単位(ab)とを有する樹脂。

IPC (3件)：

C08F 220/26 , G03F 7/039 , G03F 7/004

FI (3件)：

C08F220/26 , G03F7/039 601 , G03F7/004 503A

Fターム (59件)：

2H125AF18P , 2H125AF38P , 2H125AH12 , 2H125AH16 , 2H125AH17 , 2H125AH19 , 2H125AH23 , 2H125AH24 , 2H125AH25 , 2H125AH29 , 2H125AJ12X , 2H125AJ14X , 2H125AJ64X , 2H125AJ65X , 2H125AJ68X , 2H125AJ69X , 2H125AM22P , 2H125AM94P , 2H125AM99P , 2H125AN38P , 2H125AN39P , 2H125AN45P , 2H125AN54P , 2H125AN65P , 2H125BA02P , 2H125BA26P , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125FA03 , 4H006AA03 , 4H006AB99 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100BA02P , 4J100BA03P , 4J100BA10P , 4J100BA11P , 4J100BA15P , 4J100BA15Q , 4J100BA16P , 4J100BA20P , 4J100BA40P , 4J100BB07Q , 4J100BB10Q , 4J100BB18P , 4J100BB18Q , 4J100BC03P , 4J100BC04P , 4J100BC04Q , 4J100BC08P , 4J100BC09P , 4J100BC43P , 4J100BC53P , 4J100CA04 , 4J100FA03 , 4J100FA19 , 4J100JA38

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