特許
J-GLOBAL ID:201303036109065911

水晶振動子

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-225327
公開番号(公開出願番号):特開2013-070351
出願日: 2011年09月24日
公開日(公表日): 2013年04月18日
要約:
【課題】 生産性が高く、歩留まりも良い中心部分にエネルギーを集中させ、高いQ値を有する水晶振動子を提供しようとするものである。特にエッチングの工程の数が少なく、これによって生産性を高くすることのできる水晶振動子を提供する。【解決手段】 水晶素板の母材に特定の高さの凸部を形成し、この凸部に特定の深さの溝を多数形成し、その溝の幅を水晶素板の外周部から中心に向かって次第に小さくなるようにすることによって、水晶素板の外周から中心に向かってディユーティが大きくなるようにした。【選択図】図1
請求項(抜粋):
水晶素板の母材に特定の高さの凸部が形成され、この凸部に特定の深さの溝が形成され、その溝の幅によって、前記水晶素板の外周から中心に向かってディユーティが大きくなるようにした水晶振動子。
IPC (4件):
H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (5件):
H03H9/19 B ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 L
Fターム (7件):
5J108BB02 ,  5J108CC03 ,  5J108CC05 ,  5J108CC09 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108KK01

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