特許
J-GLOBAL ID:201303036177401245
基板輸送トレイ及び基板の輸送方法及び基板の取り出し方法及び基板の収納方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-050350
公開番号(公開出願番号):特開2013-184717
出願日: 2012年03月07日
公開日(公表日): 2013年09月19日
要約:
【課題】大型ガラス基板等の輸送トレイの薄型化を図り、多段積層できる枚数を増加して、輸送効率を上げて輸送費用を低減出来、更にガラス基板を輸送トレイに収納したり、輸送トレイから取り出す場合に基板割れを防ぐことが出来る、ガラス基板の輸送トレイ及びガラス基板の輸送方法及びガラス基板の収納取り出し方法を提供する。【解決手段】枠部と、複数本のワイヤーと、ワイヤーストッパーと、を備え、前記枠部の相対する2辺に前記複数本のワイヤーを通す貫通口が設けられ、前記貫通口に通されたワイヤーは、撓んだ状態で枠部の外側に備えられたワイヤーストッパーでその両端部の任意の位置で固定され、更に、前記ワイヤーストッパーの外側に設けられワイヤーストッパー移動機構によって、ワイヤーストッパーを枠部の更に外側に移動することによって、ワイヤーを引っ張って撓みをなくすことを特徴とする基板輸送トレイ。【選択図】図12
請求項(抜粋):
ガラス基板を一枚づつ収納する基板輸送トレイであって、
枠部と、複数本のワイヤーと、ワイヤーストッパーと、を備え、
前記枠部の相対する2辺に前記複数本のワイヤーを通す貫通口が設けられ、
前記貫通口に通されたワイヤーは、撓んだ状態で枠部の外側に備えられたワイヤーストッパーでその両端部の任意の位置で固定され、更に、
前記ワイヤーストッパーの外側に設けられワイヤーストッパー移動機構によって、ワイヤーストッパーを枠部の更に外側に移動することによって、ワイヤーを引っ張って撓みをなくすことを特徴とする基板輸送トレイ。
IPC (3件):
B65D 85/48
, B65D 85/86
, H01L 21/673
FI (3件):
B65D85/48
, B65D85/38 R
, H01L21/68 U
Fターム (23件):
3E096AA01
, 3E096BA20
, 3E096BA24
, 3E096BB03
, 3E096CA06
, 3E096DA30
, 3E096EA02Y
, 3E096EA06Y
, 3E096FA09
, 3E096FA10
, 3E096FA23
, 3E096FA26
, 3E096FA27
, 3E096FA28
, 3E096FA31
, 5F031CA05
, 5F031DA13
, 5F031EA02
, 5F031FA02
, 5F031FA07
, 5F031GA02
, 5F031GA08
, 5F031HA33
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