特許

J-GLOBAL ID：201303036299912399

加速度センサ

発明者： 岸本 慎一 ,  江田 和夫 ,  垣本 勝己 ,  田浦 巧 ,  上田 英喜 ,  森 岳志
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (5件)： 伊藤 正和 ,  林 康旨 ,  細川 覚 ,  松本 隆芳 ,  森 太士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-102550
公開番号（公開出願番号）：特開2013-231617
出願日： 2012年04月27日
公開日（公表日）： 2013年11月14日
要約：

【課題】突起部の破損を低減し、信頼性の高い加速度センサを提供する。【解決手段】平板状の可動電極4と、可動電極4が揺動可能なように、可動電極4の対向する辺をそれぞれ支持する一対のビーム部41,42と、可動電極4と離間して配置された上部固定板2と、上部固定板2の、可動電極4と対向する面に設けられた固定電極21,22と、可動電極4の、固定電極21,22と接触する箇所に設けられた突起部6とを備える。上部固定板2及び固定電極21,22の、突起部6に対応する箇所に位置する接触部61は、上部固定板2に形成された中空のキャビティ部60により、ばね性を有している。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

平板状の可動電極と、 前記可動電極が揺動可能なように、前記可動電極の対向する辺をそれぞれ支持する一対のビーム部と、 前記可動電極と離間して配置された上部固定板と、 前記上部固定板の、前記可動電極と対向する面に設けられた固定電極と、 前記可動電極の、前記固定電極と接触する箇所に設けられた突起部と を備え、 前記上部固定板及び固定電極の、前記突起部に対応する箇所に位置する接触部は、前記上部固定板に形成された中空のキャビティ部により、ばね性を有していることを特徴とする加速度センサ。

IPC (4件)：

G01P 15/125 ,  G01P 15/18 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00

FI (4件)：

G01P15/125 Z ,  G01P15/00 K ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00

Fターム (24件)：

3C081AA01 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA76 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112DA02 ,  4M112DA06 ,  4M112DA09 ,  4M112DA15 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA11 ,  4M112FA01 ,  4M112FA07 ,  4M112GA01 ,  4M112GA03