特許
J-GLOBAL ID:201303036364522250
X線源
発明者:
出願人/特許権者:
,
代理人 (3件):
樺澤 襄
, 樺澤 聡
, 山田 哲也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-132857
公開番号(公開出願番号):特開2013-004246
出願日: 2011年06月15日
公開日(公表日): 2013年01月07日
要約:
【課題】大電流量の電子ビームの発生を抑制して電子源の損傷を防止できるX線源を提供する。【解決手段】X線源10は、透過ターゲット17を備えた真空容器14内に、電子源22を収納する。電源回路12の高電圧電源29から電子源22に高電圧を印加し、電子源22から透過ターゲット17に照射する電子ビーム21を発生させる。高電圧電源29と電子源22との間に保護手段36を設置し、保護手段36により電子ビーム電流量を制限する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
透過ターゲットを備えた真空容器と、
この真空容器内に収納され、前記透過ターゲットに照射する電子ビームを発生する電子源と、
前記電子源に高電圧を印加して電子ビームを発生させる高電圧電源、およびこの高電圧電源と前記電子源との間に設置されて電子ビーム電流量を制限する保護手段を有する電源回路と
を具備していることを特徴とするX線源。
IPC (3件):
H05G 1/34
, H01J 35/08
, H05G 1/36
FI (3件):
H05G1/34 C
, H01J35/08 F
, H05G1/36 M
Fターム (9件):
4C092AA05
, 4C092AB19
, 4C092AC01
, 4C092AC08
, 4C092AC17
, 4C092BB11
, 4C092BD02
, 4C092CF16
, 4C092CH02
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