特許
J-GLOBAL ID：201303036541931794
粒子源及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山田 卓二
, 田中 光雄
, 岡部 博史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-514548
公開番号（公開出願番号）：特表2013-528914
出願日： 2012年05月04日
公開日（公表日）： 2013年07月11日
要約：
本発明は、粒子源の製造方法を提供する。本発明の粒子源の製造方法は、真空の環境内に針金を設置して活性ガスを導入し、針金の温度に対して調節を行うと共に、針金に対して正の高電圧Vを印加することによって、針金のヘッドの側面においてエッチング領域を形成し、このエッチング領域内で電界エッチングを行うステップと、電界エッチングにより、針金のヘッドの頂端における表面の電界を、針金の材料の電界蒸発の電界より大きくなるまで増強させ、上記針金のヘッドの頂端における金属原子を蒸発させるステップと、電界エッチングによって電界蒸発を触発した後、針金のヘッド形状が台座と台座上にある針先とから構成されることになるまで、電界エッチングと電界蒸発との二種のメカニズムを互いに調節し、側面で電界エッチングを発生させ、台座を形成し、電界エッチング及び電界蒸発のそれぞれによって側面と上方から針金のヘッドを減少させ、粒子源の針先を形成するステップと、予め定められた形状を有する針金のヘッドが得られた時、電界エッチング及び電界蒸発を停止させるステップとを備える。
請求項（抜粋）：
真空の環境内に針金を設置して活性ガスを導入し、針金の温度に対して調節を行うと共に、針金に対して正の高電圧Vを印加することによって、針金のヘッドの側面においてエッチング領域を形成し、このエッチング領域内で電界エッチングを行うステップと、
電界エッチングにより、針金のヘッドの頂端における表面の電界を、針金の材料の電界蒸発の電界より大きくなるまで増強させ、上記針金のヘッドの頂端における金属原子を蒸発させるステップと、
電界エッチングによって電界蒸発を触発した後、針金のヘッド形状が台座と台座上にある針先とから構成されることになるまで、電界エッチングと電界蒸発との二種のメカニズムを互いに調節するステップと、
予め定められた形状を有する針金のヘッドが得られた時、電界エッチング及び電界蒸発を停止させるステップとを備えることを特徴とする粒子源の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
5C030DF02
, 5C030DF05
, 5C030DF10
