特許

J-GLOBAL ID：201303036618624954

LEDウェハーピッカー

発明者： ユ インファン ,  イ ハクピョ ,  ヤン イルチャン ,  イ ホジョン
出願人/特許権者： エルジー シーエヌエス カンパニーリミテッド ,  ロボスター カンパニーリミテッド
代理人 (6件)： 大森 純一 ,  折居 章 ,  中村 哲平 ,  金子 彩子 ,  吉田 望 ,  金山 慎太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-041551
公開番号（公開出願番号）：特開2013-179139
出願日： 2012年02月28日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
要約：

【課題】吸入力が増大してLEDウェハーの上面が接触する恐れがなく安定した吸着を行うことができるLEDウェハーピッカーを提供する。【解決手段】LEDウェハーピッカーは、上部に供給された空気が流線型からなる吐出面に沿って両側に排出されることによって、下部のLEDウェハーを吸着するピッカー本体と、前記吐出面の下部に配置されて空気が前記吐出面に沿って移動できるようにするガイド部材とを含むLEDウェハーピッカーにおいて、前記ガイド部材の中央部に形成され、前記吐出面と対応する部位内に位置する単一の中央孔と、前記ガイド部材の下部方向に突出するように一体に延長形成され、前記LEDウェハーを支持する支持部とを含む。したがって、比較的遠くに離れているLEDウェハーを容易に吸着することができ、LEDウェハーの上面がガイド部材に接触するのを防止することによって、異物汚染による不良を減らすことができる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

上部に供給された空気が流線型からなる吐出面に沿って両側に排出されることによって、下部のLEDウェハーを吸着するピッカー本体と、前記吐出面の下部に配置されて空気が前記吐出面に沿って移動できるようにするガイド部材とを含むLEDウェハーピッカーにおいて、 前記ガイド部材の中央部に形成され、前記吐出面と対応する部位内に位置する単一の中央孔と、 前記ガイド部材の下部方向に突出するように一体に延長形成され、前記LEDウェハーを支持する支持部と、 を含むことを特徴とするLEDウェハーピッカー。

IPC (3件)：

H01L 21/677 ,  B65G 49/07 ,  B25J 15/06

FI (3件)：

H01L21/68 C ,  B65G49/07 H ,  B25J15/06 Z

Fターム (10件)：

3C707AS24 ,  3C707DS01 ,  3C707FS04 ,  3C707NS13 ,  5F131AA02 ,  5F131AA22 ,  5F131AA30 ,  5F131CA09 ,  5F131DA42 ,  5F131DB27

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭64-058486
  
• 基板吸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-119896   出願人：株式会社島津製作所

審査官引用 (2件)

• 特開昭64-058486
  
• 基板吸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-119896   出願人：株式会社島津製作所