特許

J-GLOBAL ID：201303036847689288

基板処理装置及びそのメンテナンス方法

発明者： 先崎 滋 ,  斉藤 道茂 ,  佐藤 大樹 ,  堀内 謙 ,  安藤 功治 ,  小岩 真悟
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柏岡 潤二 ,  大森 鉄平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-098791
公開番号（公開出願番号）：特開2013-229373
出願日： 2012年04月24日
公開日（公表日）： 2013年11月07日
要約：

【課題】複数の処理チャンバを備える場合において、作業スペースを含めた基板処理装置の配置スペースを有効利用することができる基板処理装置およびそのメンテナンス方法を提供する。【解決手段】基板処理装置は、第1処理チャンバ、第2処理チャンバ、搬送チャンバ、フレーム構造体及び昇降部を備える。第1処理チャンバおよび第2処理チャンバは、本体部及び蓋部を有し、処理空間を内部に画成する。搬送チャンバは、第1処理チャンバ及び第2処理チャンバと接続され、基板を搬送するための搬送機構が収容されている。フレーム構造体は、一対の支柱部、及び一対の支柱部の頂部に支持された梁部を有する。昇降部は、梁部に水平方向に移動可能に取り付けられ、蓋部を垂直方向へ移動させる。梁部は、第1処理チャンバ、第2処理チャンバ及び搬送チャンバの上方を横切って延在する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

本体部及び蓋部を有し、処理空間を内部に画成する第1処理チャンバと、 本体部及び蓋部を有し、処理空間を内部に画成する第2処理チャンバと、 前記第1処理チャンバ及び前記第2処理チャンバと接続され、前記第1処理チャンバ又は前記第2処理チャンバに収容される基板を搬送するための搬送機構が収容された搬送チャンバと、 一対の支柱部、及び前記一対の支柱部の頂部に支持された梁部を有するフレーム構造体と、 前記梁部に水平方向に移動可能に取り付けられ、前記蓋部を垂直方向へ移動させる昇降部と、 を備え、 前記梁部は、前記第1処理チャンバ、前記第2処理チャンバ及び前記搬送チャンバの上方を横切って延在する 基板処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 ,  C23C 16/44

FI (7件)：

H01L21/02 Z ,  H01L21/302 101B ,  H01L21/205 ,  H01L21/31 C ,  H01L21/302 101M ,  C23C16/44 F ,  C23C16/44 J

Fターム (25件)：

4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030DA06 ,  4K030FA03 ,  4K030GA12 ,  4K030LA15 ,  5F004AA13 ,  5F004AA15 ,  5F004BA04 ,  5F004BB13 ,  5F004BB18 ,  5F004BB22 ,  5F004BB25 ,  5F045AA08 ,  5F045DP03 ,  5F045DQ17 ,  5F045EB02 ,  5F045EB05 ,  5F045EB06 ,  5F045EB08 ,  5F045EF05 ,  5F045EH14 ,  5F045EJ03 ,  5F045EJ09 ,  5F045EM05