特許

J-GLOBAL ID：201303036917740014

分離材を内蔵したモジュールの欠陥検出方法

発明者： 野坂 史朗 ,  上野 良之 ,  山村 泰史
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-061441
公開番号（公開出願番号）：特開2013-226542
出願日： 2013年03月25日
公開日（公表日）： 2013年11月07日
要約：

【課題】 本発明の目的は、分離材を内蔵したモジュールの欠陥検出方法であり、乾燥された分離材を湿潤剤で含浸させることなく、さらには気体透過性が高い場合にも好適に適用でき、微粒子等の分離材への残存もない欠陥検出方法を提供することにある。【解決手段】 ケースとこれに内蔵された分離材を有し、前記分離材により前記ケースは第1空間および第2空間に分けられ、前記ケースには前記第1空間に連通する第1注入口および第1排出口および前記第2空間に連通する第2排出口が設けられたモジュールの欠陥検出方法において、前記分離材に対し吸着性を有する気体(以下、吸着性気体)を含む気体を第1注入口から供給して、前記第1排出口から排出された前記吸着性気体のモジュールへの被吸着量または前記第2排出口から排出された前記吸着性気体のモジュールへの被吸着量を測定した上で、既知の正常品についての前記被吸着量と比較することを特徴とする分離材を内蔵したモジュールの欠陥検出方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

ケースとこれに内蔵された分離材を有し、前記分離材により前記ケースは第1空間および第2空間に分けられ、前記ケースには前記第1空間に連通する第1注入口および第1排出口および前記第2空間に連通する第2排出口が設けられたモジュールの欠陥検出方法において、前記分離材に対し吸着性を有する気体(以下、吸着性気体)を含む気体を第1注入口から供給して、前記第1排出口から排出された前記吸着性気体のモジュールへの被吸着量または前記第2排出口から排出された前記吸着性気体のモジュールへの被吸着量を測定した上で、既知の正常品における前記被吸着量と比較することを特徴とする分離材を内蔵したモジュールの欠陥検出方法。

IPC (4件)：

B01D 65/10 ,  B01D 63/02 ,  B01D 69/02 ,  B01D 61/14

FI (4件)：

B01D65/10 ,  B01D63/02 ,  B01D69/02 ,  B01D61/14

Fターム (21件)：

4D006GA02 ,  4D006GA06 ,  4D006GA41 ,  4D006HA02 ,  4D006JA13C ,  4D006JA25C ,  4D006JB06 ,  4D006LA03 ,  4D006MA01 ,  4D006MB05 ,  4D006MB06 ,  4D006MB09 ,  4D006MB20 ,  4D006MC40X ,  4D006MC62X ,  4D006NA04 ,  4D006NA10 ,  4D006NA17 ,  4D006NA62 ,  4D006NA64 ,  4D006NA65