成膜装置、成膜方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：萩原康司 , 金本哲男 , 亀谷美明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-093501
公開番号（公開出願番号）：特開2013-057658
出願日： 2012年04月17日
公開日（公表日）： 2013年03月28日
要約：

【課題】測定時のS/N比(シグナル/ノイズ比)の低下を抑制し、短時間の測定で精密な測定を行い、リアルタイム性の向上が図られるような光学的検知装置を提供する。【解決手段】測定用の光が通過する測定光路と、前記測定光路に測定用の光を照射する光源と、前記測定光路を通過した光を受光し、吸収スペクトルの検出を行う検出器と、を有し、前記測定光路と前記光源とを連結させる第1の連結路と、前記測定光路と前記検出器とを所定の間隔でもって連結させる第2の連結路と、が設けられ、前記第1の連結路は前記測定光路と前記光源との間の空間を密閉可能な構成であり、前記第2の連結路は前記測定光路と前記検出器との間の空間を密閉可能な構成であり、前記第1の連結路及び前記第2の連結路の内部を排気する排気機構と、前記第1の連結路及び前記第2の連結路の内部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給機構と、を備えた光学的検知装置が提供される。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

成膜に用いる材料ガスのガス濃度を、材料ガス中を通過した光の吸収スペクトルのピーク強度を検出することで測定する光学的検知装置であって、測定用の光が通過する測定光路と、前記測定光路に測定用の光を照射する光源と、前記測定光路を通過した光を受光し、吸収スペクトルの検出を行う検出器と、を有し、前記測定光路と前記光源とを連結させる第1の連結路と、前記測定光路と前記検出器とを所定の間隔でもって連結させる第2の連結路と、が設けられ、前記第1の連結路は前記測定光路と前記光源との間の空間を密閉可能な構成であり、前記第2の連結路は前記測定光路と前記検出器との間の空間を密閉可能な構成であり、前記第1の連結路及び前記第2の連結路の内部を排気する排気機構と、前記第1の連結路及び前記第2の連結路の内部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給機構と、を備えた光学的検知装置。

IPC (5件)：

G01N 21/35 , C23C 14/24 , H05B 33/10 , H01L 51/50 , G01N 21/27

FI (5件)：

G01N21/35 Z , C23C14/24 U , H05B33/10 , H05B33/14 A , G01N21/27 F

Fターム (28件)：

2G059AA01 , 2G059BB01 , 2G059CC12 , 2G059DD12 , 2G059EE01 , 2G059HH01 , 2G059JJ25 , 2G059KK01 , 2G059MM01 , 2G059MM14 , 2G059NN01 , 2G059NN02 , 2G059NN05 , 2G059NN08 , 3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC45 , 3K107GG04 , 3K107GG32 , 3K107GG34 , 4K029BA62 , 4K029CA01 , 4K029DA03 , 4K029DA04 , 4K029DB11 , 4K029EA02 , 4K029EA04 , 4K029EA05

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