膜厚測定装置及び膜厚測定方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：藤田考晴 , 上田邦生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-187980
公開番号（公開出願番号）：特開2013-050362
出願日： 2011年08月30日
公開日（公表日）： 2013年03月14日
要約：

【課題】被測定対象に施される遮熱コーティングの膜厚を効率良く正確に測定することが可能な膜厚測定装置及び膜厚測定方法を提供することを目的とする。【解決手段】膜厚測定装置1は、タービン翼11に形成された遮熱コーティング膜の膜厚を測定するECTセンサ4と、遮熱コーティング膜の膜厚を測定する地点であるタービン翼11上の測定地点を記憶している記憶手段9と、タービン翼11の形状を測定するレーザ変位計5と、レーザ変位計5によって測定された測定されたタービン翼11の形状と、記憶手段9に記憶されているタービン翼11上の測定地点に基づいて、ECTセンサ4による実際の膜厚測定に適した実測定地点を算出する測定位置算出手段8と、測定位置算出手段8によって算出された実測定地点に基づいて、ECTセンサ4を駆動して、ECTセンサ4の測定位置を調整するアーム駆動手段6とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被測定対象に形成された遮熱コーティング膜の膜厚を測定する膜厚測定手段と、前記遮熱コーティング膜の膜厚を測定する地点である前記被測定対象上の測定地点を記憶している記憶手段と、前記被測定対象の形状を測定する形状測定手段と、前記測定手段によって測定された前記被測定対象の形状と、前記記憶手段に記憶されている前記被測定対象上の測定地点に基づいて、前記膜厚測定手段による実際の膜厚測定に適した実測定地点を算出する測定位置算出手段と、前記測定位置算出手段によって算出された前記実測定地点に基づいて、前記膜厚測定手段を駆動して、前記膜厚測定手段の測定位置を調整する駆動手段と、を備える膜厚測定装置。

IPC (2件)：

G01B 7/06 , G01B 11/24

FI (2件)：

G01B7/06 M , G01B11/24 A

Fターム (25件)：

2F063AA16 , 2F063BA04 , 2F063BD13 , 2F063CB01 , 2F063DA02 , 2F063DA05 , 2F063DB02 , 2F063GA08 , 2F063LA29 , 2F065AA02 , 2F065AA03 , 2F065AA06 , 2F065AA20 , 2F065AA52 , 2F065CC08 , 2F065DD06 , 2F065GG04 , 2F065HH05 , 2F065MM07 , 2F065NN20 , 2F065PP25 , 2F065QQ25 , 2F065RR05 , 2F065TT02 , 2F065TT08

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