特許

J-GLOBAL ID：201303037393545312

酸化物透明導電膜、およびそれを用いた光電変換素子、光検出素子

発明者： 鯉田 崇 ,  藤原 裕之 ,  近藤 道雄
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-205023
公開番号（公開出願番号）：特開2013-229283
出願日： 2012年09月18日
公開日（公表日）： 2013年11月07日
要約：

【課題】 可視及び近赤外域での透過性に優れた低抵抗な酸化物透明導電膜を提供する。また、本発明の酸化物透明導電膜を光電変換素子の透明電極として用いることにより、従来では不可能であった近赤外域の分光感度の高い高効率太陽電池、あるいは微弱な近赤外線を検出できる高性能光検出素子を実現する。【解決手段】 酸化物透明導電膜は、水素原子を含有し、水素原子含有量を1%以上10%以下、ホール効果測定による電子の移動度を70cm2/Vs以上、キャリア濃度を5×1020cm-3以下、波長400nm〜1200nmの範囲内の任意の波長における屈折率を1.5以上、比抵抗を5×10-4Ωcm以下の諸条件を適宜組み合わせて製造した酸化物導電膜から構成する。非晶質の酸化物導電膜をアニールにより固相成長させ結晶質の酸化物導電膜を得る。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

水素原子を含有する結晶質酸化物透明導電膜の水素原子含有量を1%以上10%以下の範囲内の任意の値とし、ホール効果測定による電子の移動度を70cm2/Vs以上とし、キャリア濃度を5×1020cm-3以下とし、波長400nm〜1200nmの範囲内の任意の波長における屈折率を1.5以上とし、比抵抗を5×10-4Ωcm以下の任意の値としたことを特徴とする酸化物透明導電膜。

IPC (5件)：

H01B 5/14 ,  H01L 31/04 ,  H01L 31/10 ,  H01M 14/00 ,  H01B 13/00

FI (7件)：

H01B5/14 A ,  H01L31/04 H ,  H01L31/04 M ,  H01L31/04 E ,  H01L31/10 H ,  H01M14/00 P ,  H01B13/00 503B

Fターム (46件)：

5F049PA07 ,  5F049PA11 ,  5F049PA15 ,  5F049SE04 ,  5F049WA01 ,  5F049WA03 ,  5F151AA02 ,  5F151AA03 ,  5F151AA05 ,  5F151AA08 ,  5F151AA09 ,  5F151AA10 ,  5F151CA02 ,  5F151CA03 ,  5F151CA15 ,  5F151CB14 ,  5F151CB15 ,  5F151CB18 ,  5F151CB24 ,  5F151DA07 ,  5F151EA09 ,  5F151FA04 ,  5F151FA06 ,  5F151FA16 ,  5F151GA03 ,  5F151GA04 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC09 ,  5G323BA02 ,  5G323BB05 ,  5G323BC03 ,  5H032AA06 ,  5H032AS16 ,  5H032BB02 ,  5H032BB10 ,  5H032CC11 ,  5H032CC14 ,  5H032EE01 ,  5H032EE02 ,  5H032EE07 ,  5H032EE18 ,  5H032HH01 ,  5H032HH05 ,  5H032HH07 ,  5H032HH08