特許

J-GLOBAL ID：201303037410109866

ダイシングシート

発明者： 村山 健一 ,  金井 道生
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (1件)： 前田・鈴木国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-069635
公開番号（公開出願番号）：特開2013-201349
出願日： 2012年03月26日
公開日（公表日）： 2013年10月03日
要約：

【課題】ピックアップ時に所定の粘着力を有し、半導体部品ばらけの発生を抑制すると共に、半導体部品の破損を防止できる、信頼性の高いダイシングシートを提供する。【解決手段】基材と、その上に形成された粘着剤層とからなるダイシングシートであって、前記粘着剤層が、芳香族(メタ)アクリレートから導かれるモノマー単位を含む共重合体(A)と、炭素-炭素二重結合を含有する基を有するシアヌレート系化合物、及び、炭素-炭素二重結合を含有する基を有するイソシアヌレート系化合物から選択される少なくとも一種のエネルギー線重合性化合物(B)とを含有する粘着剤組成物からなり、前記粘着剤層の厚みが、8〜20μmであり、前記芳香族(メタ)アクリレートから導かれるモノマー単位の含有量が、前記共重合体(A)100質量部に対して1〜20質量部である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

基材と、その上に形成された粘着剤層とからなるダイシングシートであって、 前記粘着剤層が、芳香族(メタ)アクリレートから導かれるモノマー単位を含む共重合体(A)と、炭素-炭素二重結合を含有する基を有するシアヌレート系化合物、及び、炭素-炭素二重結合を含有する基を有するイソシアヌレート系化合物から選択される少なくとも一種のエネルギー線重合性化合物(B)とを含有する粘着剤組成物からなり、 前記粘着剤層の厚みが、8〜20μmであり、 前記芳香族(メタ)アクリレートから導かれるモノマー単位の含有量が、前記共重合体(A)100質量部に対して1〜20質量部であるダイシングシート。

IPC (4件)：

H01L 21/301 ,  C09J 7/02 ,  C09J 4/02 ,  C09J 133/04

FI (4件)：

H01L21/78 M ,  C09J7/02 Z ,  C09J4/02 ,  C09J133/04

Fターム (23件)：

4J004AA01 ,  4J004AA10 ,  4J004AB01 ,  4J004AB06 ,  4J004CA03 ,  4J004CA04 ,  4J004CA05 ,  4J004CA06 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J004EA06 ,  4J004FA08 ,  4J040DF021 ,  4J040DF061 ,  4J040FA171 ,  4J040JA09 ,  4J040JB08 ,  4J040JB09 ,  4J040LA02 ,  4J040MA01 ,  4J040NA20 ,  4J040PA32 ,  4J040PA42

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ダイシングシート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-069640   出願人：リンテック株式会社
• ダイシングシート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-001972   出願人：リンテック株式会社
• 粘着シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-095378   出願人：リンテック株式会社
• 活性面貼付ダイシング用粘着テープ又はシートおよび被加工物の切断片のピックアップ方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-039048   出願人：日東電工株式会社