表示装置及び該表示装置の作製方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-080908
公開番号（公開出願番号）：特開2013-236069
出願日： 2013年04月09日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
要約：

【課題】表示装置の駆動回路部に用いるトランジスタにおいて、ゲート配線、及びソース配線でのチャージアップを抑制し、静電破壊に起因した歩留まりの低下を抑制する。【解決手段】ゲート配線、及びソース配線でのチャージアップを抑制するため、各配線を形成する際、各配線の一部または全部を分断せずに形成しておく。そして、画素部での開口部を形成する工程において、前述の各配線上に達する開口部を設けておき、該開口部を用いて、トランジスタの作製工程が完了した後に各配線を分断するものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

駆動回路部に設けられた複数の第1のゲート配線、複数の第1のソース配線、及び第1のトランジスタと、画素部に設けられた第2のゲート配線、第2のソース配線、及び第2のトランジスタと、を有し、前記第1のゲート配線及び前記第2のゲート配線は、同じ層に形成された配線であり、前記第1のソース配線及び前記第2のソース配線は、同じ層に形成された配線であり、前記第1のトランジスタ上及び前記第2のトランジスタ上には、層間絶縁膜を有し、前記層間絶縁膜は、前記駆動回路部に設けられた第1の開口部及び前記画素部に設けられた第2の開口部を有し、前記第1の開口部は、複数の前記第1のゲート配線の間に設けられた開口部と、複数の前記第1のソース配線の間に設けられた開口部とを有する表示装置。

IPC (9件)：

H01L 29/786 , H01L 21/822 , H01L 27/04 , H01L 21/823 , H01L 27/088 , H01L 21/28 , G02F 1/136 , G02F 1/134 , G09F 9/30

FI (9件)：

H01L29/78 612C , H01L29/78 618B , H01L27/04 H , H01L27/08 102F , H01L21/28 301R , G02F1/1368 , G02F1/1345 , G09F9/30 338 , H01L21/28 301B

Fターム (134件)：

2H092GA29 , 2H092GA59 , 2H092JA26 , 2H092JA46 , 2H092JB79 , 2H092KA08 , 2H092MA13 , 2H092MA18 , 2H092MA19 , 2H092NA14 , 2H092NA29 , 2H092PA06 , 2H192AA24 , 2H192CB05 , 2H192CB37 , 2H192CB83 , 2H192CC04 , 2H192CC32 , 2H192CC72 , 2H192EA66 , 2H192EA74 , 2H192EA76 , 2H192FB03 , 2H192FB05 , 2H192GA31 , 2H192HA32 , 2H192HA63 , 2H192HA64 , 4M104AA03 , 4M104AA09 , 4M104BB02 , 4M104BB04 , 4M104BB14 , 4M104BB16 , 4M104BB17 , 4M104BB18 , 4M104BB36 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD34 , 4M104DD37 , 4M104DD43 , 4M104DD51 , 4M104EE03 , 4M104EE06 , 4M104EE16 , 4M104EE17 , 4M104EE18 , 4M104FF08 , 4M104FF17 , 4M104GG08 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094BA43 , 5C094DA14 , 5C094EA04 , 5C094FB14 , 5C094FB19 , 5C094GB10 , 5C094HA07 , 5C094HA08 , 5F038BH13 , 5F038CD18 , 5F038EZ01 , 5F038EZ02 , 5F038EZ14 , 5F038EZ15 , 5F038EZ17 , 5F038EZ20 , 5F048AA02 , 5F048BA14 , 5F048BA15 , 5F048BA16 , 5F048BB01 , 5F048BB09 , 5F048BB11 , 5F048BB12 , 5F048BF02 , 5F048BF07 , 5F048BF16 , 5F110AA06 , 5F110AA14 , 5F110AA26 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD12 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD15 , 5F110DD17 , 5F110DD24 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE14 , 5F110EE23 , 5F110EE42 , 5F110EE43 , 5F110EE44 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110FF09 , 5F110FF28 , 5F110FF30 , 5F110GG01 , 5F110GG02 , 5F110GG06 , 5F110GG12 , 5F110GG13 , 5F110GG14 , 5F110GG15 , 5F110GG19 , 5F110GG42 , 5F110GG43 , 5F110GG45 , 5F110HK02 , 5F110HK04 , 5F110HK21 , 5F110HL07 , 5F110HL22 , 5F110HL23 , 5F110NN02 , 5F110NN03 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN27 , 5F110NN34 , 5F110NN72

引用特許：

審査官引用 (5件)

表示装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-025943 出願人：株式会社日立ディスプレイズ
半導体装置およびその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-316061 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
アクティブマトリクス基板およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-061985 出願人：シャープ株式会社, 川崎雅司, 大野英男

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