特許
J-GLOBAL ID：201303039079778968
弾性表面波素子及び電子部品
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-173011
公開番号（公開出願番号）：特開2013-102418
出願日： 2012年08月03日
公開日（公表日）： 2013年05月23日
要約：
【課題】LSAWからなる弾性表面波を利用するためにタンタル酸リチウム製の圧電基板上にIDT電極を配置した弾性表面波素子において、この弾性表面波素子の周波数帯域が2GHz以上もの高周波数帯域であっても伝搬損失を小さく抑える。【解決手段】45〜46°回転Y-X板からなるタンタル酸リチウムを圧電基板10として用いると共に、IDT電極2の膜厚hを7.5%λ〜8%λに設定すると共に、IDT電極2における電極指6群について、電極指の幅寸法及び互いに隣接する電極指間の離間寸法に於いて、幅寸法と離間寸法との和で幅寸法を除した値で表されるライン占有率を0.55〜0.65に設定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
2GHz以上の周波数のLSAWからなる弾性表面波を利用した弾性表面波素子において、
結晶軸のX軸周りに45°〜46°回転したY軸に対して垂直に切断したタンタル酸リチウム基板上をX軸方向に弾性表面波が伝搬するように構成された圧電基板と、
弾性表面波の伝搬方向に沿って各々伸びると共に互いに平行となるように前記圧電基板上に形成された導電体膜からなる一対のバスバー及び、これらバスバーから対向するバスバーに向かって互いに櫛歯状に交差するように配置された導電膜からなる電極指群を有するIDT電極と、
弾性表面波の伝搬方向における前記IDT電極の一方側及び他方側に各々設けられ、弾性表面波の伝搬方向に沿って各々伸びると共に互いに平行となるように前記圧電基板上に形成された一対の反射器バスバー及び、これら反射器バスバー同士を互いに接続するように各々形成された反射器電極指群を各々有する反射器と、を備え、
前記電極指群の周期長をλとすると、前記電極指群における各々の前記導電体膜の膜厚は、7.5%λ〜8%λであり、
前記電極指の幅寸法及び互いに隣接する電極指間の離間寸法を夫々D及びSとすると、幅寸法Dと離間寸法Sとの和で幅寸法Dを除した値で表されるライン占有率は、0.55〜0.65であることを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (4件)：
H03H 9/145
, H03H 9/25
, H01L 41/18
, H01L 41/09
H03H9/145 Z
, H03H9/25 Z
, H03H9/25 C
, H03H9/145 C
, H01L41/18 101A
, H01L41/08 L
5J097AA01
, 5J097DD09
, 5J097DD28
, 5J097GG03
, 5J097GG07
, 5J097KK01
, 5J097KK03
, 5J097KK05
, 5J097KK08
, 5J097KK09
, 5J097KK10
