精密送り装置および精密移動装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-206860
公開番号（公開出願番号）：特開2013-079950
出願日： 2012年09月20日
公開日（公表日）： 2013年05月02日
要約：

【課題】高精度な位置検出に基づく高精度な移動および位置決めが可能な精密送り装置および精密移動装置を提供すること。【解決手段】ベース2に支持されたテーブル31を所定の移動方向へ駆動する精密送り装置9は、テーブル31に接続されたロッド41と、ロッド41を移動方向に進退駆動する駆動機構4と、ベース2に対するロッド41の変位を検出するレーザ干渉計5とを有し、駆動機構4は、ロッド41への駆動力が移動方向の軸線に対して対称に作用するリニアモータ44を有し、レーザ干渉計5のレーザ光路56はロッド41を貫通して移動方向に延びており、ロッド41の移動軸線と駆動機構4の推力軸線とレーザ干渉計5の検出軸線とが一致している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ベースに支持されて所定の移動方向に沿って移動可能な移動体を前記移動方向へ駆動する精密送り装置であって、前記移動体に接続された駆動体と、前記駆動体を前記移動方向に沿って進退駆動する駆動機構と、前記ベースに対する前記移動体の変位を検出する変位検出器とを有し、前記駆動機構は、前記駆動体への駆動力が前記駆動体の前記移動方向の軸線に対して対称に作用する駆動源を有し、前記変位検出器は、前記駆動体を貫通して前記移動方向に延びるレーザ光路を有するレーザ干渉計であることを特徴とする精密送り装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 , B23Q 5/28 , B23Q 17/24

FI (4件)：

G01B11/00 G , B23Q5/28 B , B23Q17/24 Z , G01B11/00 A

Fターム (10件)：

2F065AA02 , 2F065FF51 , 2F065GG04 , 2F065JJ01 , 2F065LL02 , 2F065LL11 , 2F065LL46 , 2F065NN20 , 3C029AA31 , 3C029AA40

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭61-237111
XYステージ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-245090 出願人：アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社
推進機構、加工装置および測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-019806 出願人：株式会社ミツトヨ

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