特許

J-GLOBAL ID：201303040205262644

液滴吐出ヘッドの製造方法

発明者： 二瓶 靖和
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-054770
公開番号（公開出願番号）：特開2013-188874
出願日： 2012年03月12日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
要約：

【課題】下地膜を使用する箇所に適した機能に制御することができる液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】ノズル孔12を有するノズル形成基板10およびノズル孔内部に下地膜14を形成する下地膜形成工程と、ノズル形成基板10表面の下地膜14に高エネルギー線を照射する照射工程と、ノズル形成基板10表面に撥水膜18を形成する表面撥水膜形成工程と、を有し、高エネルギー線がコヒーレントな光である液滴吐出ヘッドの製造方法である。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

ノズル孔を有するノズル形成基板および前記ノズル孔内部に下地膜を形成する下地膜形成工程と、 前記ノズル形成基板表面の前記下地膜に高エネルギー線を照射する照射工程と、 前記ノズル形成基板表面に撥水膜を形成する表面撥水膜形成工程と、を有し、 前記高エネルギー線がコヒーレントな光である液滴吐出ヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/135 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/045

FI (2件)：

B41J3/04 103N ,  B41J3/04 103A

Fターム (10件)：

2C057AF93 ,  2C057AG02 ,  2C057AG07 ,  2C057AP13 ,  2C057AP53 ,  2C057AP60 ,  2C057AP61 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14