特許

J-GLOBAL ID：201303040496807960

搬送システム

発明者： 冨永 忠正
出願人/特許権者： 村田機械株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柴山 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-084869
公開番号（公開出願番号）：特開2013-214654
出願日： 2012年04月03日
公開日（公表日）： 2013年10月17日
要約：

【課題】 搬送途中におけるウェハの振動や浮きの発生を抑制しながら、より素早くFOUPを搬送することができる搬送システムを提供する。【解決手段】 ウェハを複数枚収納可能であり、ウェハの収納状況に関する収納情報を記憶するIDタグ23が取り付けられたFOUP20を搬送する搬送システム1であって、搬送システム1は、FOUP20を搬送するスタッカクレーン40と、スタッカクレーン40によるFOUP20の搬送前に、搬送対象となるFOUP20のIDタグ23から収納情報を読み取るタグリーダ50A〜50Dと、タグリーダ50A〜50Dで読み取られた収納情報に基づいて、スタッカクレーン40の駆動を制御する制御部132と、を備える。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

ウェハを複数枚収納可能であり、前記ウェハの収納状況に関する収納情報を記憶する収納情報記憶手段を備えるウェハキャリアを搬送する搬送システムであって、 前記ウェハキャリアを搬送する搬送装置と、 前記搬送装置による前記ウェハキャリアの搬送前に、搬送対象となる前記ウェハキャリアの前記収納情報記憶手段から前記収納情報を読み取る収納情報読取手段と、 前記収納情報読取手段で読み取られた前記収納情報に基づいて、前記搬送装置の駆動を制御する制御手段と、 を備える搬送システム。

IPC (4件)：

H01L 21/677 ,  B65G 1/137 ,  B65G 1/04 ,  H01L 21/673

FI (4件)：

H01L21/68 A ,  B65G1/137 A ,  B65G1/04 537 ,  H01L21/68 T

Fターム (38件)：

3F022AA08 ,  3F022BB09 ,  3F022CC02 ,  3F022DD01 ,  3F022EE05 ,  3F022FF01 ,  3F022JJ07 ,  3F022KK01 ,  3F022MM08 ,  3F022MM11 ,  3F022MM21 ,  3F022NN22 ,  3F022NN25 ,  3F022NN27 ,  3F022PP03 ,  3F022PP06 ,  5F131AA02 ,  5F131BB02 ,  5F131CA18 ,  5F131CA32 ,  5F131DA05 ,  5F131DA36 ,  5F131DA37 ,  5F131DB02 ,  5F131DB52 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131DB76 ,  5F131DC26 ,  5F131DD03 ,  5F131DD33 ,  5F131DD52 ,  5F131DD78 ,  5F131GA14 ,  5F131GB02 ,  5F131GB14 ,  5F131GB27 ,  5F131HA37

引用特許：

審査官引用 (5件)

• ストッカ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-226303   出願人：アシストシンコー株式会社
• ウエハ搬送システム、および、ウエハ収納カセット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-048336   出願人：株式会社日立ハイテクコントロールシステムズ
• 搬送システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-098920   出願人：村田機械株式会社
• 特開平2-265804
  
• 特開平2-265804