透明電極の観察装置および透明電極の観察方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-174419
公開番号（公開出願番号）：特開2013-068605
出願日： 2012年08月06日
公開日（公表日）： 2013年04月18日
要約：

【課題】石英ガラスなどのガラスに較べて紫外線透過率の低い樹脂シートの表面に形成した透明電極の検査に必要な測定精度を得ることのできる透明電極の観察装置を提供すること。【解決手段】樹脂シートFの表面に形成された透明電極Pの光透過率が50%以下となる200〜300nmの波長帯域の紫外線光を含む光を照射する光源1と、光源1から照射された紫外線光によって励起され、蛍光発光した樹脂シートFの光の強度が0.1以上となる400〜500nmの波長帯域の光を透過する光学フィルタ2と、光学フィルタ2を透過した可視域の波長に感度を有する画像を撮影するカメラ3とを備えたので、透明電極Pが形成された部位は暗くなり、それ以外の部位は明るく撮影される。これにより、可視光では視認が困難な透明電極Pの形状を特定でき、透明電極Pの検査に必要な測定精度を得ることができる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

樹脂シートの表面に形成された透明電極の光透過率が50%以下となる波長帯域の紫外線光を少なくとも含む光を照射する光照射手段と、前記光照射手段から照射された紫外線光によって励起され、蛍光発光した前記樹脂シートを観察する観察手段とを備えたことを特徴とする透明電極の観察装置。

IPC (6件)：

G01N 21/88 , G09F 9/00 , G02F 1/13 , G02F 1/134 , G02B 21/16 , G02B 21/36

FI (6件)：

G01N21/88 K , G09F9/00 352 , G02F1/13 101 , G02F1/1343 , G02B21/16 , G02B21/36

Fターム (34件)：

2G051AB03 , 2G051AB04 , 2G051AB10 , 2G051AC21 , 2G051BA04 , 2G051BA05 , 2G051BA08 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051CC07 , 2G051EA11 , 2G051EB01 , 2G051ED15 , 2H052AA09 , 2H052AC12 , 2H052AD34 , 2H052AF14 , 2H052AF25 , 2H088FA11 , 2H088FA29 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088HA02 , 2H088MA20 , 2H092HA04 , 2H092MA55 , 2H092NA15 , 2H092NA16 , 2H092NA29 , 5G435AA17 , 5G435HH12 , 5G435KK07 , 5G435KK10

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