特許
J-GLOBAL ID:201303040802989946
イオン交換樹脂再生用の酸の再生方法、イオン交換樹脂再生装置とこれを用いた銅エッチング液再生装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
内藤 浩樹
, 永野 大介
, 藤井 兼太郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-048768
公開番号(公開出願番号):特開2013-184076
出願日: 2012年03月06日
公開日(公表日): 2013年09月19日
要約:
【課題】イオン交換樹脂の再生に用いる酸を回収、再生することで、新規に追加する酸の使用量を低減するとともに、酸の廃棄処分のための処理費用を低減することができる、イオン交換樹脂再生用の酸の再生方法と再生装置ならびにこれを用いた銅エッチング液再生装置を提供することを目的とする。【解決手段】銅を吸着したイオン交換樹脂4を再生するための硫酸2を、銅濃度を測定する銅濃度測定手段を有する銅濃度測定装置6により測定した銅の濃度に応じてそれぞれ分画し、各分画ごとに別々の銅を除去する銅除去手段を有する銅除去装置8、銅除去装置12、銅除去装置16を用いて再生する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
銅を吸着したイオン交換樹脂の再生に用いた酸を、
前記酸に含まれる銅の濃度に応じて少なくとも2分画し、
少なくとも1分画で銅を除去する銅除去手段を用いて再生することを特徴とする、
イオン交換樹脂再生用の酸の再生方法。
IPC (4件):
B01J 49/00
, C23F 1/46
, B01J 45/00
, C02F 1/461
FI (5件):
B01J49/00 D
, C23F1/46
, B01J45/00 J
, B01J49/00 H
, C02F1/46 101B
Fターム (15件):
4D061DA08
, 4D061DB18
, 4D061DC23
, 4D061EA05
, 4D061EB04
, 4D061EB37
, 4D061EB39
, 4D061GA06
, 4D061GA07
, 4D061GC01
, 4K057WB04
, 4K057WH01
, 4K057WH07
, 4K057WH08
, 4K057WN01
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