特許
J-GLOBAL ID:201303041117348527

圧力センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 伊藤 正和 ,  林 康旨 ,  細川 覚 ,  松本 隆芳 ,  森 太士
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-090132
公開番号(公開出願番号):特開2013-217836
出願日: 2012年04月11日
公開日(公表日): 2013年10月24日
要約:
【課題】ダイヤフラムを薄肉化してセンサ感度を高めた場合にも、流体を注ぎ込む際の衝撃によってセンサチップが破損してしまうのを抑制できる圧力センサを得る。【解決手段】圧力センサ1は、センサチップ3と、センサチップ3に流体圧を印加させる圧力導入部11と、浴槽(流体貯留部)20内に突出して配置される突出部18を有し、突出部18の内部に形成される流体通路Sに浴槽20内の流体を導入して圧力導入部11に伝達するケース12と、突出部18の外壁18cに設けられる導入口30とを備える。そして、導入口30をケース12の浴槽20への取付状態で、流体通路Sから下側に向けて開口するように突出部18の外壁18cに設けることで、流体通路S内に空気溜り部を形成することができ、この空気溜り部が干渉機能を果たして衝撃を緩和することができる。【選択図】図6
請求項(抜粋):
流体圧の印加によって撓み変形するダイヤフラムを有し、当該ダイヤフラムの撓み量によって印加された圧力を検知するセンサチップと、 前記センサチップに流体圧を印加させる圧力導入部と、 流体貯留部内に突出して配置される突出部を有し、前記突出部の内部に形成される流体通路に前記流体貯留部内の流体を導入して前記圧力導入部に伝達するケースと、 前記ケースの前記流体貯留部への取付状態で、前記流体通路から下側に向けて開口するように前記突出部の外壁に設けられる導入口と、を備えることを特徴とする圧力センサ。
IPC (1件):
G01L 9/00
FI (1件):
G01L9/00 303N
Fターム (10件):
2F055AA39 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF21 ,  2F055FF38 ,  2F055GG15 ,  2F055GG16 ,  2F055GG25 ,  2F055HH05

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