特許
J-GLOBAL ID：201303041273201161
計測装置、計測方法及び光学部品の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
近島 一夫
, 大田 隆史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-069563
公開番号（公開出願番号）：特開2013-200257
出願日： 2012年03月26日
公開日（公表日）： 2013年10月03日
要約：
【課題】被検物の形状や波面収差等の光学特性の計測を行う際に、被検物からの不要光成分の影響を除去する。【解決手段】光源101から出射された出射光を、偏光ビームスプリッタ103で被検物に照射する測定光L1と被検物に照射しない参照光L2とに分離する。被検物108を経た測定光L1は、マイクロレンズアレイ114の複数のマイクロレンズ114aにより結像面Pにそれぞれ集光される。参照光L2は、参照光光学系109により結像面Pに導光される。コンピュータ113は、移動ステージ117により参照光の光路長を変化させながら、結像面Pに配置されたCCDイメージセンサ116から複数の撮像画像を順次取得する。コンピュータ113は、複数の撮像画像の中から、信号光成分と参照光との干渉で生じる干渉光スポットを抽出して干渉光スポットの重心位置を計算し、予め定めた基準位置に対する重心位置のずれ量を計算する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光を出射する光源と、
前記光源から出射された出射光を、被検物に照射する測定光と前記被検物に照射しない参照光とに分離する分離光学系と、
前記被検物を経た前記測定光を結像面にそれぞれ集光する複数のレンズからなるレンズアレイと、
前記結像面に配置された撮像素子と、
前記参照光を前記結像面に導光する参照光光学系と、
前記光源から前記レンズアレイに至る前記測定光の光路長、前記光源から前記レンズアレイに至る前記参照光の光路長、及び前記光源の波長幅のうち、少なくとも1つの調整対象を、前記被検物を経た前記測定光に含まれる信号光成分と前記参照光とが干渉する範囲を含むように変化させる調整部と、
前記調整部により前記調整対象を変化させて前記撮像素子から順次取得した複数の撮像画像の中から、前記信号光成分と前記参照光との干渉で生じる干渉光スポットを抽出して、該干渉光スポットの重心位置を計算し、予め定めた基準位置に対する前記重心位置のずれ量を計算する計算部と、を備えたことを特徴とする計測装置。
IPC (3件)：
G01B 9/02
, G01M 11/02
, G01B 11/24
G01B9/02
, G01M11/02 B
, G01B11/24 D
2F064AA09
, 2F064BB03
, 2F064EE02
, 2F064FF03
, 2F064FF08
, 2F064GG12
, 2F064GG23
, 2F064GG33
, 2F064GG38
, 2F064GG39
, 2F064GG44
, 2F064GG47
, 2F064GG52
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064JJ01
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065CC22
, 2F065EE00
, 2F065FF52
, 2F065GG07
, 2F065GG25
, 2F065HH03
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL04
, 2F065LL10
, 2F065LL12
, 2F065LL35
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065PP02
, 2F065QQ21
, 2F065QQ23
, 2F065RR05
, 2F065RR09
, 2F065TT08
, 2G086HH06
出願人引用 (2件)
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Depth-resolved wavefront aberrations using a coherence-gated Shack-Hartmann wavefront sensor
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Time-domain coherence-gated Shack-Hartmann wavefront sensor
審査官引用 (2件)
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Depth-resolved wavefront aberrations using a coherence-gated Shack-Hartmann wavefront sensor
-
Time-domain coherence-gated Shack-Hartmann wavefront sensor
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