特許

J-GLOBAL ID：201303041397123878

圧電振動片およびその製造方法

発明者： 岩下 貴司
出願人/特許権者： シチズンホールディングス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-073697
公開番号（公開出願番号）：特開2013-207509
出願日： 2012年03月28日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：

【課題】圧電振動子片をウエハから折り取ったときに、圧電振動子片とウエハとの接続部分から破片が発生しにくい圧電振動片の加工方法を提供する。【解決手段】圧電材料からなるウエハ11をフォトエッチングすることにより、圧電振動片の外形を有する圧電振動子片12と、この圧電振動子片を支持するための枠部15と、前記圧電振動子片と前記枠部と連結する連結部13を形成し、前記連結部を切断することにより前記圧電振動片を前記枠部から切り離した圧電振動片の製造方法において、前記連結部の外形の少なくとも一部には前記ウエハをフォトエッチングした際に発生するエッチング残渣部14が形成されており、前記エッチング残渣部の大きさが最小、または前記エッチング残渣部が発生していない部分を通る線上にて前記連結部を切断した圧電振動片の製造方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電材料からなるウエハをフォトエッチングすることにより、圧電振動片の外形を有する圧電振動子片と、この圧電振動子片を支持するための枠部と、前記圧電振動子片と前記枠部と連結する連結部を形成し、前記連結部を切断することにより前記圧電振動片を前記枠部から切り離した圧電振動片の製造方法において、前記連結部の外形の少なくとも一部には前記ウエハをフォトエッチングした際に発生するエッチング残渣部が形成されており、前記エッチング残渣部の大きさが最小、または前記エッチング残渣部が発生していない部分を通る線上にて前記連結部を切断したことを特徴とする圧電振動片の製造方法。

IPC (6件)：

H03H 3/02 ,  H03H 9/19 ,  H03H 9/215 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (8件)：

H03H3/02 C ,  H03H9/19 J ,  H03H9/215 ,  H03H3/02 D ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 L

Fターム (12件)：

5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108KK01 ,  5J108KK07 ,  5J108MM08 ,  5J108NA03