光電変換装置及びその製造方法、並びに光電変換システム

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：大塚康徳 , 高柳司郎 , 大塚康弘 , 木村秀二 , 下山治 , 永川行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-195501
公開番号（公開出願番号）：特開2013-093553
出願日： 2012年09月05日
公開日（公表日）： 2013年05月16日
要約：

【課題】深さ方向に沿って複数の光電変換部が配された光電変換装置において、深い位置に配された光電変換部の光感度を高くするために有利な技術を提供する。【解決手段】光電変換装置は、光が入射する第1面及び前記第1面の反対側に配された第2面を有する部材と、前記部材の内部に前記第1面から深さ方向に沿って配された複数の光電変換部を含み、前記複数の光電変換部のうち前記第1面から最も近い位置に配された前記光電変換部を除く少なくともいずれか一つは、前記第1面から最も近い位置に配された前記光電変換部よりも高低差が大きい凹凸形状を前記部材との境界面に有しており、前記凹凸形状の境界面は、前記第1面側から入射して前記凹凸形状の境界面に到達した光を局在または共鳴させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光が入射する第1面及び前記第1面の反対側に配された第2面を有する部材と、前記部材の内部に前記第1面から深さ方向に沿って配された複数の光電変換部を含み、前記複数の光電変換部のうち前記第1面から最も近い位置に配された前記光電変換部を除く少なくともいずれか一つは、前記第1面から最も近い位置に配された前記光電変換部よりも高低差が大きい凹凸形状を前記部材との境界面に有しており、前記凹凸形状の境界面は、前記第1面側から入射して前記凹凸形状の境界面に到達した光を局在または共鳴させることを特徴とする光電変換装置。

IPC (3件)：

H01L 27/146 , H01L 27/14 , H04N 5/369

FI (3件)：

H01L27/14 A , H01L27/14 D , H04N5/335 690

Fターム (15件)：

4M118AA01 , 4M118AB01 , 4M118BA14 , 4M118CA03 , 4M118CA18 , 4M118CA22 , 4M118CA27 , 4M118EA01 , 4M118EA14 , 4M118FA25 , 4M118GD04 , 4M118GD07 , 5C024CX41 , 5C024EX00 , 5C024GY31

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