特許

J-GLOBAL ID：201303041598394047

被加工物の分割方法

発明者： 服部 篤 ,  川口 吉洋
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-113023
公開番号（公開出願番号）：特開2013-239663
出願日： 2012年05月17日
公開日（公表日）： 2013年11月28日
要約：

【課題】被加工物に貼着したエキスパンドシートを拡張して分割したチップ間の間隔を、エキスパンドシートの種類によらず確実に維持してチップが損傷するおそれを低減する。【解決手段】エキスパンドシート11を拡張することでウェーハ(被加工物)1を改質層4を起点に分割して複数のチップ3Aを形成するとともにチップ3A間に間隔を形成する拡張ステップと、エキスパンドシート11が拡張されて形成された余剰分11bをウェーハ1の外周と環状フレーム10の内周との間でウェーハユニット5(被加工物ユニット)の裏面5b側に隆起させる余剰分隆起ステップと、裏面5b側に隆起させた余剰分11bを環状フレーム10の裏面側に圧着することでチップ3A間の間隔を維持する圧着ステップとを備える。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

分割起点が形成された被加工物と、該被加工物に貼着されたエキスパンドシートと、該エキスパンドシートの外周が貼着される環状フレームと、からなる被加工物ユニットの該被加工物側を表面とし該エキスパンドシート側を裏面とし、該被加工物を該分割起点に沿って分割して複数のチップを形成するとともに形成された該チップ間の間隔を維持する被加工物の分割方法であって、 前記エキスパンドシートを拡張し、前記被加工物を前記分割起点から分割して複数のチップを形成するとともに形成された該チップ間に間隔を形成する拡張ステップと、 該拡張ステップを実施した後、該拡張ステップで前記エキスパンドシートが拡張されて形成された余剰分を前記被加工物の外周と前記環状フレームの内周との間で前記被加工物ユニットの裏面側に隆起させる余剰分隆起ステップと、 該余剰分隆起ステップを実施した後、前記被加工物ユニットの裏面側に隆起させた前記余剰分を前記環状フレームの裏面側に圧着することで前記チップ間の間隔を維持する圧着ステップと、 を備えることを特徴とする被加工物の分割方法。

IPC (1件)：

H01L 21/301

FI (1件)：

H01L21/78 X