特許
J-GLOBAL ID:201303041685515829

外観検査装置および外観検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 内藤 浩樹 ,  永野 大介 ,  藤井 兼太郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-091582
公開番号(公開出願番号):特開2013-221766
出願日: 2012年04月13日
公開日(公表日): 2013年10月28日
要約:
【課題】外観検査装置の検査精度の経時変動的なばらつきを簡便な方法で防止することができる外観検査装置および外観検査方法を提供することを目的とする。【解決手段】基準治具として準備された第1の較正用治具を撮像して取得した画像情報から抽出された計測値に基づき、検査処理において計測値の較正に使用される較正用データを作成して記憶させる初期較正処理と、経時変動を補正するために配設された経時補正用の第2の較正用治具を撮像して取得した画像情報から抽出された計測値に基づき、前記較正用データを補正するための経時較正処理とを、それぞれ予め設定された所定のタイミングにて実行させる。これにより、外観検査装置の検査精度の経時変動的なばらつきを簡便な方法で防止することができる。【選択図】図13
請求項(抜粋):
基板に電子部品を実装して実装基板を製造する電子部品実装ラインに配置され前記基板を撮像手段により撮像して取得した画像情報に基づいて検査対象物の外観検査を行う外観検査装置であって、 前記画像情報から抽出された計測値に基づいて前記外観検査の検査項目について所定の検査判定処理を実行する検査処理部と、 前記撮像手段により較正用治具を撮像して、撮像により取得した画像情報から抽出された計測値に基づき較正用データを作成して記憶させる較正処理を実行する較正処理実行部と、 前記較正処理実行部による較正処理の実行タイミングを含む実行態様を、予め設定された較正実行パターンに基づいて制御する較正実行制御部とを備え、 前記較正実行制御部は、基準治具として準備された第1の較正用治具を撮像して取得した画像情報から抽出された計測値に基づき、前記検査処理において計測値の較正に使用される較正用データを作成する初期較正処理と、 経時変動を補正するために配設された経時補正用の第2の較正用治具を撮像して取得した画像情報から抽出された計測値に基づき、前記較正用データを補正するための経時較正処理とを、それぞれ予め設定された所定のタイミングにて実行させることを特徴とする外観検査装置。
IPC (2件):
G01N 21/956 ,  G01B 11/00
FI (2件):
G01N21/956 B ,  G01B11/00 H
Fターム (24件):
2F065AA04 ,  2F065AA24 ,  2F065BB01 ,  2F065BB28 ,  2F065CC28 ,  2F065DD04 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF61 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065PP15 ,  2F065QQ31 ,  2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA08 ,  2G051EA16 ,  2G051EA24 ,  2G051EB05

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